PI (Physik Instrumente)P-541.2 ? P-542.2 XY壓電工作臺

P-541.2 • P-542.2 XY壓電工作臺

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大口徑低外形XY納米定位系

§ 低外形、易于集成：16.5毫米

§ 孔徑為80 毫米 × 80 毫米

§ 行程達(dá)200 微米 × 200 微米

§ 并聯(lián)運動實現(xiàn)更快的響應(yīng)時間和更高的 多軸精度

§ 高動態(tài)直接驅(qū)動版本

§ 傳感器技術(shù)：價格實惠的應(yīng)變片傳感器 或可實現(xiàn)更高性能的電容式傳感器

§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命

§ 可與顯微鏡平臺組合實現(xiàn)更長行程

應(yīng)用領(lǐng)域

·         掃描顯微鏡

·         高吞吐量顯微鏡

·         超分辨率顯微鏡

·         掩模/晶圓定位

·         干涉測量

·         測量技術(shù)

·         生物技術(shù)

·         顯微操縱

帶電容式傳感器，實現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

直接位置測量帶來最大精度

運動直接在運動平臺上測量，完全不受驅(qū)動或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實現(xiàn)最佳的重復(fù)精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)控制。

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動器長達(dá)十倍。它們被證明可實現(xiàn)無故障運行1000億個循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

并聯(lián)運動實現(xiàn)高動態(tài)多軸操作

在并聯(lián)多軸系統(tǒng)中，所有促動器作用于同一個運動平臺。所有軸具有最小的質(zhì)量慣性和相同的設(shè)計，可實現(xiàn)快速、動態(tài)和精密的運動。

訂購信息

P-541.2DD

帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，高動態(tài)直接驅(qū)動，45 微米 × 45微米，并聯(lián)運動，電容傳感器，Sub-D連接器

P-541.2CD

帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米，并聯(lián)運動，電容傳感器，Sub-D連接器

P-541.2CL

帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米，并聯(lián)運動，電容傳感器，LEMO連接器

P-542.2CD

帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200微米，并聯(lián)運動，電容傳感器，Sub-D連接器

P-542.2CL

帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200微米，并聯(lián)運動，電容傳感器，LEMO連接器

P-541.2SL

帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100微米，應(yīng)變片傳感器，LEMO連接器

P-542.2SL

帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200微米，應(yīng)變片傳感器，LEMO連接器

P-541.20L

帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100微米，不帶傳感器，LEMO連接器

P-542.20L

帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200微米，不帶傳感器，LEMO連接器

配件

P-542.PD1

用于P-54x納米定位系統(tǒng)的培養(yǎng)皿支架，35 毫米

P-542.SH1

用于P-54x納米定位系統(tǒng)的顯微鏡載片支架

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