PI德國 P-620.Z - P-622.Z PIHera垂直精密Z向定位器

PI德國 P-620.Z - P-622.Z PIHera垂直精密Z向定位器

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P-620.Z - P-622.Z PIHera垂直精密Z向定位器

多種行程范圍和軸配置

P-620.Z - P-622.Z

§ 行程為50微米至250微米（開環(huán)為350微 米）

§ 分辨率達0.1納米

§ 線性誤差僅0.02%

§ 帶電容式傳感器的直接計量

§ X、XY、Z和XYZ型

應(yīng)用領(lǐng)域

§ 干涉測量

§ 顯微鏡

§ 納米定位

§ 生物技術(shù)

§ 測試應(yīng)用

§ 半導(dǎo)體技術(shù)

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng) 的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現(xiàn)無故障運行1000億個循環(huán)。

帶電容式傳感器，實現(xiàn)亞納米分辨率 電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。 它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

直接位置測量帶來最大精度

運動直接在運動平臺上測量，完全不受驅(qū)動或?qū)蛟挠绊憽＿@樣可以實現(xiàn)最佳的重復(fù)精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性 、快速響應(yīng)控制。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可 實現(xiàn)極低的排氣率。

訂購信息

P-620.ZCD

精密PIHera 垂直納米定位平臺，50微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-620.ZCL

精密PIHera 垂直納米定位平臺，50微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-620.Z0L

精密PIHera 垂直納米定位平臺，65微米，LEMO連接器，不帶傳感器

P-621.ZCD

精密PIHera 垂直納米定位平臺，100微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-621.ZCL

精密PIHera 垂直納米定位平臺，100微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-621.Z0L

精密PIHera 垂直納米定位平臺，140微米，LEMO連接器，不帶傳感器

P-622.ZCD

精密PIHera 垂直納米定位平臺，250微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-622.ZCL

精密PIHera 垂直納米定位平臺，250微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-622.Z0L

精密PIHera 垂直納米定位平臺，350微米，LEMO連接器，不帶傳感器

 

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