德國(guó) PI壓電陶瓷線(xiàn)性精密定位器P-620.1 – P-629.1

P-620.1 – P-629.1 PIHera壓電陶瓷線(xiàn)性精密定位器

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多種行程范圍和軸配置

行程為50至1800微米

線(xiàn)性誤差 0.02 %

真空兼容版本達(dá)10^-9百帕

分辨率達(dá)0.1納米

X、XY、Z版本；可提供XYZ組合

應(yīng)用領(lǐng)域

·         干涉測(cè)量

·         顯微鏡

·         納米定位

·         生物技術(shù)

·         測(cè)試應(yīng)用

·         半導(dǎo)體技術(shù)

·         光子

·         光纖定位

帶電容式傳感器，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量，且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線(xiàn)性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

直接位置測(cè)量帶來(lái)最大精度

運(yùn)動(dòng)直接在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上測(cè)量，完全不受驅(qū)動(dòng)或?qū)蛟挠绊憽＿@樣可以實(shí)現(xiàn)最佳的重復(fù)精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)控制。

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽命

專(zhuān)利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動(dòng)器長(zhǎng)達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無(wú)故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來(lái)高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無(wú)需維護(hù)、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤(rùn)滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無(wú)需潤(rùn)滑劑或潤(rùn)滑脂。無(wú)聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。

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帶Sub-D連接器（公頭）的版本

P-620.1CD

精密PIHera 線(xiàn)性納米定位系統(tǒng)，50微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-621.1CD

精密PIHera 線(xiàn)性納米定位系統(tǒng)，100微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-622.1CD

精密PIHera 線(xiàn)性納米定位系統(tǒng)，250微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器 P-625.1CD 精密PIHera 線(xiàn)性納米定位系統(tǒng)，500微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-628.1CD

精密PIHera 線(xiàn)性納米定位系統(tǒng)，800微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-629.1CD

精密PIHera 線(xiàn)性納米定位系統(tǒng)，1500微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器

帶LEMO連接器的版本

P-620.1CL

精密PIHera 線(xiàn)性納米定位系統(tǒng)，50微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，LEMO連接器

P-621.1CL

精密PIHera 線(xiàn)性納米定位系統(tǒng)，100微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，LEMO連接器

P-622.1CL

精密PIHera 線(xiàn)性納米定位系統(tǒng)，250微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，LEMO連接器

P-625.1CL

精密PIHera 線(xiàn)性納米定位系統(tǒng)，500微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，LEMO連接器

P-628.1CL 精密PIHera 線(xiàn)性納米定位系統(tǒng)，800微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，LEMO連接器

P-629.1CL 精密PIHera 線(xiàn)性納米定位系統(tǒng)，1500微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，LEMO連接器

不帶位置傳感器的線(xiàn)性定位器

P-620.10L

精密PIHera 線(xiàn)性納米定位系統(tǒng)，60微米，LEMO連接器，不帶傳感器

P-621.10L

精密PIHera 線(xiàn)性納米定位系統(tǒng)，120微米，LEMO連接器，不帶傳感器

P-622.10L

精密PIHera 線(xiàn)性納米定位系統(tǒng)，300微米，LEMO連接器，不帶傳感器

P-625.10L

精密PIHera 線(xiàn)性納米定位系統(tǒng)，600微米，LEMO連接器，不帶傳感器

P-628.10L

精密PIHera 線(xiàn)性納米定位系統(tǒng)，950微米，LEMO連接器，不帶傳感器

P-629.10L

精密PIHera 線(xiàn)性納米定位系統(tǒng)，1800微米，LEMO連接器，不帶傳感器

線(xiàn)性定位器，真空兼容達(dá)10-9百帕

P-620.1UD

精密PIHera 線(xiàn)性納米定位系統(tǒng)，50微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕

P-621.1UD

精密PIHera 線(xiàn)性納米定位系統(tǒng)，100微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕

P-622.1UD

精密PIHera 線(xiàn)性納米定位系統(tǒng)，250微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕

P-625.1UD

精密PIHera 線(xiàn)性納米定位系統(tǒng)，500微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕

P-628.1UD

精密PIHera 線(xiàn)性納米定位系統(tǒng)，800微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕

P-629.1UD

精密PIHera 線(xiàn)性納米定位系統(tǒng)，1500微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕

我們的優(yōu)勢(shì)：

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