PI (Physik Instrumente)S-303 壓電移相器

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S-303 壓電移相器

帶直接計(jì)量選項(xiàng)的高速壓電移相器

諧振頻率為25千赫茲，可實(shí)現(xiàn)亞毫秒級(jí)的動(dòng)態(tài)

行程為3微米

帶孔徑的開環(huán)版本

電容式傳感器選項(xiàng)可實(shí)現(xiàn)最高的線性度和穩(wěn)定性

緊湊尺寸：直徑為30毫米×10毫米

殷鋼選項(xiàng)可實(shí)現(xiàn)最高的熱穩(wěn)定性

應(yīng)用領(lǐng)域

?（菲索）干涉儀

?光學(xué)納米操作和檢查

?掃描顯微鏡

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來超長(zhǎng)使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動(dòng)器長(zhǎng)達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。

帶電容式傳感器，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

直接位置測(cè)量帶來最大精度

運(yùn)動(dòng)直接在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上測(cè)量，完全不受驅(qū)動(dòng)或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實(shí)現(xiàn)最佳的重復(fù)精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)控制。

訂購(gòu)信息

S-303.0升

壓電移相器，3 µm，無傳感器

S-303光盤

壓電移相器，3 µm，電容傳感器

S-303.0LI

壓電移相器，3 µm，無傳感器，殷鋼

S-303.CDI

壓電移相器，3 µm，電容傳感器，Invar

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