PI (Physik Instrumente)P-733.Z 高動態(tài)Z向納米定位器/掃描儀

P-733.Z 高動態(tài)Z向納米定位器/掃描儀

直接位置測量和通光孔徑

譚晶 QQ：2853369887   手機(jī)：18518172492 電話：010-64717020-116 傳真：010-84786709-666 郵件：sales9@handelsen.cn

應(yīng)用領(lǐng)域

·         掃描顯微鏡

·         共聚焦顯微鏡

·         掩模/晶圓定位

·         表面測量技術(shù)

·         納米壓印

·         顯微操縱

·         圖像處理/穩(wěn)定

·         高運(yùn)動平面度和直線度的納米定位

帶電容式傳感器，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動配置和快速部件更換

機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲在機(jī)械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動時，數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能就會使用這些數(shù)據(jù)。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動器長達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無故障運(yùn)行1000億個循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

直接位置測量帶來最大精度

運(yùn)動直接在運(yùn)動平臺上測量，完全不受驅(qū)動或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實(shí)現(xiàn)最佳的重復(fù)精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)控制。

訂購信息

P-733.ZCD

緊湊型精密納米定位器Z向位移臺，100 微米，電容傳感器，Sub-D連接器

P-733.ZCL

緊湊型精密納米定位器Z向位移臺，100 微米，電容傳感器，LEMO連接器

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