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PI A-311 帶空氣軸承的PIglideIS平面掃描儀

    

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品牌PI 有效期至2022-04-22 最后更新2021-04-22 11:24
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PI A-311 帶空氣軸承的PIglideIS平面掃描儀

PI A-311 帶空氣軸承的PIglideIS平面掃描儀

高性能,緊湊型XY納米定位系統(tǒng)

 

掃描應(yīng)用的完美選擇或精密定位

行程達(dá)200 毫米 × 200 毫米

低外形

無塵室兼容

負(fù)載容量達(dá)147 

分辨率達(dá)1納米

 

產(chǎn)品概述

帶空氣軸承的高精度PIglide IS XY 平面掃描儀采用扁平設(shè)計(jì),可用于替代堆疊XY位移平臺。高效、緊湊的設(shè)計(jì)安裝空間有限,能夠節(jié)省機(jī)械空間。

 

PIMag®磁力直接驅(qū)動(dòng)

三相磁性直接驅(qū)動(dòng)器在動(dòng)力傳動(dòng)系統(tǒng)中未使用機(jī)械零件,其可直接將驅(qū)動(dòng)力傳輸至運(yùn)動(dòng)平臺,且無摩擦。驅(qū)動(dòng)器可實(shí)現(xiàn)高速度和高加速度。 無鐵芯電機(jī)非常適合對精度有超高要求的定位任務(wù),因?yàn)槠洳粫?huì)與永久性磁鐵發(fā)生不良作用。這樣即使在最低的速度下也能保持平穩(wěn)的運(yùn)行,同時(shí),在高速狀態(tài)下也不會(huì)產(chǎn)生振動(dòng)。避免了控制的非線性行為并且每個(gè)位置都很容易控制。驅(qū)動(dòng)力可任意設(shè)定。

利用來自領(lǐng)先制造商的數(shù)字控制器,操作可提供高級控制算法,以改善動(dòng)態(tài)性和誤差補(bǔ)償。

 

附件和可選配件

編碼器

PIglide過濾器和空氣預(yù)處理器

多軸運(yùn)動(dòng)控制器和直接驅(qū)動(dòng)器

機(jī)器底座

花崗巖底座板和隔振系統(tǒng)

 

應(yīng)用領(lǐng)域

PIglide 定位系統(tǒng)特別適合高精度應(yīng)用,例如檢測系統(tǒng)、激光打標(biāo)、顯微鏡或掃描。

 

訂購信息

A-311.AA1

PIglideISPlanarscanner,空氣軸承,100毫米 × 100微米行程,增量帶正弦/余弦信號傳輸?shù)木€性編碼器,20微米傳感器信號周期,無鐵芯三相線性電機(jī),48

 

A-311.AB1

PIglideISPlanarscanner,空氣軸承,100毫米 × 100微米行程,帶BiSSC信號傳輸?shù)慕^對線性編碼器,1納米傳感器分辨率,無鐵芯三相線性電機(jī),48

 

A-311.BA1

PIglideISPlanarscanner,空氣軸承,150毫米 × 150微米行程,增量帶正弦/余弦信號傳輸?shù)木€性編碼器,20微米傳感器信號周期,無鐵芯三相線性電機(jī),48

 

A-311.BB1

PIglideISPlanarscanner,空氣軸承,150毫米 × 150微米行程,帶BiSSC信號傳輸?shù)慕^對線性編碼器,1納米傳感器分辨率,無鐵芯三相線性電機(jī),48

 

A-311.CA1

PIglideISPlanarscanner,空氣軸承,200毫米 × 200微米行程,增量帶正弦/余弦信號傳輸?shù)木€性編碼器,20微米傳感器信號周期,無鐵芯三相線性電機(jī),48

 

A-311.CB1

PIglideISPlanarscanner,空氣軸承,200毫米 × 200微米行程,帶BiSSC信號傳輸?shù)慕^對線性編碼器,1納米傳感器分辨率,無鐵芯三相線性電機(jī),48

 

A-311.DA1

PIglideISPlanarscanner,空氣軸承,50毫米 × 50微米行程,增量帶正弦/余弦信號傳輸?shù)木€性編碼器,20微米傳感器信號周期,無鐵芯三相線性電機(jī),48

 

A-311.DB1

PIglideISPlanarscanner,空氣軸承,50毫米 × 50微米行程,帶BiSSC信號傳輸?shù)慕^對線性編碼器,1納米傳感器分辨率,無鐵芯三相線性電機(jī),48

PI A-311 帶空氣軸承的PIglideIS平面掃描儀
張艷琴
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