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P-612.2 XY壓電納米定位系統(tǒng)

特點(diǎn)：

·         緊湊型：表面60 mm×60 mm

·         100 µm×100 µm閉環(huán)行程范圍（130 µm×130 µm，開(kāi)環(huán)）

·         對(duì)于成本至關(guān)重要的應(yīng)用

·         通光孔徑20 mm×20 mm

·         并聯(lián)運(yùn)動(dòng)學(xué)，響應(yīng)時(shí)間更快，多軸精度更高

·         PICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長(zhǎng)

·         也可作為精簡(jiǎn)版

應(yīng)用領(lǐng)域：

·         掃描顯微鏡

·         高通量顯微鏡

·         超分辨率顯微鏡

·         掩膜/晶圓定位

·         干涉儀

·         測(cè)量技術(shù)

·         生物技術(shù)

·         顯微操作

PICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長(zhǎng)

獲得專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護(hù)它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實(shí)證明，沒(méi)有單一故障的1000億次循環(huán)。