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德國(guó)PI器納米計(jì)量傳感PI E-852 PISeca系列

    

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品牌pi 有效期至長(zhǎng)期有效 最后更新2023-03-29 15:46
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德國(guó)PI器納米計(jì)量傳感PI E-852 PISeca系列

孫粗
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 PI miCos GmbH位于萊茵河和黑森林之間的Markgräfler土地。在這里,您可以在PI精密定位技術(shù)領(lǐng)域最具創(chuàng)新性的公司之一中生活并創(chuàng)造性地工作。PI由于開發(fā)、設(shè)計(jì)和生產(chǎn)的混合,勞動(dòng)力也非?;旌?。在這里,來自技術(shù)領(lǐng)域的專家,如物理學(xué)家、工程師或技術(shù)工人,以及具有商業(yè)背景的員工在團(tuán)隊(duì)中工作。

PI傳感器、組件和配件
納米計(jì)量傳感器和信號(hào)調(diào)節(jié)器
PI提供納米計(jì)量電容式傳感器技術(shù),該技術(shù)用于高級(jí)納米定位階段,也可作為OEM應(yīng)用中集成的組件。


PI E-852 PISeca 信號(hào)評(píng)估
用于電容式單電極傳感器
PISeca 電容式傳感器

集成線性化功能 (ILS) 實(shí)現(xiàn)出色的線性度
可選帶寬范圍為 10 Hz 至 10 kHz
可變測(cè)量范圍
LED 條測(cè)量范圍顯示屏,易于集成
多軸應(yīng)用的外部同步

集成線性化系統(tǒng) (ILS) 確保最高精度
在電子設(shè)備中,集成的線性化系統(tǒng)可確保最高的精度。補(bǔ)償傳感器和測(cè)量表面之間平行度誤差的影響,從而保證出色的線性度(線性誤差低于0.1%)。

多軸應(yīng)用的外部同步
當(dāng)多個(gè)傳感器系統(tǒng)一起使用時(shí),只需通過PISeca 電子設(shè)備的 I/O 線即可完成同步。

E-852.10
E-852.10A1

D-510 PISeca 電容式傳感器
具有出色位置分辨率的單電極傳感器
用于PISeca電容式傳感器的廉價(jià)系統(tǒng)解決方案
非接觸式測(cè)距
絕對(duì)位置感應(yīng)
振動(dòng)測(cè)量
亞納米分辨率
靈活的測(cè)量范圍
易于集成

采用電容式位置傳感器,實(shí)現(xiàn)最高的精度和使用壽命
結(jié)合用于信號(hào)處理的電子設(shè)備,可以達(dá)到亞納米級(jí)的分辨率,適用于準(zhǔn)靜態(tài)應(yīng)用。對(duì)于高動(dòng)態(tài)應(yīng)用,帶寬可以增加到10 kHz,其中仍然可以達(dá)到1 nm范圍內(nèi)的分辨率。線性誤差小于0.1%。

定制版本/雙電極傳感器
除了此處列出的標(biāo)準(zhǔn)傳感器外,PI還提供一系列特定應(yīng)用的定制版本,例如,測(cè)量范圍,幾何形狀或材料可根據(jù)客戶要求進(jìn)行調(diào)整。還提供定制的電子產(chǎn)品。

D-100系列雙電極傳感器可滿足對(duì)線性度和分辨率的最高要求。

易于操作和集成
所有PISeca傳感器頭都配有LEMO連接器,便于安裝和更換。均勻的軸厚度確保了兼容性和靈活性。用于連接評(píng)估電子元件的電纜有多種型號(hào),因此必須單獨(dú)訂購。

應(yīng)用領(lǐng)域
工業(yè)和研究。半導(dǎo)體制造和檢測(cè)。納米學(xué)。主動(dòng)減振器。精密加工。

D-510.021
D-510.051
D-510.101


D-050 • D-100 電容式傳感器
亞納米分辨率位置傳感器
最高精度
分辨率達(dá)0.01nm
線性誤差達(dá) 0.01%
測(cè)量范圍達(dá) 300μm
E-509.CxA 控制電子元件,與 E-500 壓電控制器系統(tǒng)兼容

分辨率

電容式傳感器可在較短的距離內(nèi)實(shí)現(xiàn)皮米范圍內(nèi)的分辨率。理論測(cè)量分辨率是無限的。在實(shí)踐中,散射輻射、幾何效應(yīng)和測(cè)量電子噪聲會(huì)影響可實(shí)現(xiàn)的精度。與 E-509 結(jié)合使用。C1A電子器件,D-100.00傳感器(100μm)的有效噪聲因數(shù)為0.02 nm/√Hz。例如,對(duì)應(yīng)于 0.2 nm 的分辨率和 100 Hz 帶寬。電子設(shè)備的跳線可調(diào)帶寬高達(dá)3 kHz。

除了此處列出的標(biāo)準(zhǔn)傳感器外,PI還提供定制版本,例如測(cè)量,幾何,材料,電子等。

應(yīng)用領(lǐng)域:高精度定位。

D-050.00
D-100.00

E-509。E PISeca 傳感器評(píng)估/控制器
三軸伺服控制器模塊,E-500壓電控制器系統(tǒng)
E-509。E03: 電子模塊,3軸,用于電容式傳感器
E-509。E3:傳感器模塊,3軸,帶用于壓電系統(tǒng)的附加伺服控制器
用于 E-500 / E-501 機(jī)箱的插入式模塊
ILS 電路優(yōu)化了電容式傳感器線性度
可選測(cè)量范圍
可變帶寬(可選)

用于PISeca的信號(hào)評(píng)估和伺服控制器模塊
E-509。E03 和 E-509。E3 可作為 E-500 / E-501 機(jī)箱的插入式模塊提供,用于 PISeca 系列中的高分辨率電容式單板傳感器:

E-509。E03 用于信號(hào)評(píng)估
E-509。E3作為伺服控制器模塊

E-509.E03
E-509.E3

PI E-509
E-509 信號(hào)調(diào)節(jié)器 / 壓電伺服模塊
伺服控制器模塊,最多3軸,E-500壓電控制器系統(tǒng)
帶傳感器評(píng)估電子元件的位置控制模塊
E-509 是一款帶有傳感器評(píng)估電子設(shè)備的位置控制模塊,用于集成位置傳感器的納米定位系統(tǒng)。它會(huì)自動(dòng)消除壓電操作期間發(fā)生的漂移或遲滯,并在負(fù)載變化后立即調(diào)整壓電陶瓷電壓時(shí)補(bǔ)償壓電陶瓷促動(dòng)器位置的變化。

納米級(jí)精密壓電定位
E-509伺服控制器模塊的比例積分位置控制針對(duì)壓電操作進(jìn)行了優(yōu)化。比例項(xiàng)和積分項(xiàng)以及控制帶寬可以單獨(dú)調(diào)整。集成的陷波濾波器(可為每個(gè)軸設(shè)置)提高了穩(wěn)定性,并允許更寬帶寬的操作更接近壓電系統(tǒng)的機(jī)械諧振頻率。因此,根據(jù)壓電陶瓷機(jī)械結(jié)構(gòu)和傳感器類型,定位精度和可重復(fù)性可在納米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)。

E-509。用于信號(hào)評(píng)估的E03型號(hào)和E-509。E3型號(hào)作為伺服控制器模塊可用于PISeca系列中的高分辨率電容式單板傳感器。

E-509.C1A 
E-509.C2A 
E-509.C3A
E-509.S1
E-509.S3
E-509傳感器評(píng)估控制器
聯(lián)系方式
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