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德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-733.3 XYZ壓電納米定位器

特點：

·         X，Y的行程范圍為100 µm×100 µm，Z的行程范圍為10 µm

·         電容式傳感器的分辨率可達0.1 nm

·         直接驅(qū)動的高速版本

·         超高真空兼容和非磁性版本

·         并聯(lián)運動學可實現(xiàn)更高的精度和動力學

·         并行計量，可主動補償導向誤差

·         零間隙，高精度撓曲導向系統(tǒng)

·         透明孔徑50 mm×50 mm，用于透射光應用

應用領(lǐng)域

·         掃描顯微鏡

·         共聚焦顯微鏡

·         掩膜/晶圓定位

·         表面測量技術(shù)

·         納米壓印

·         顯微操作

·         圖像處理/穩(wěn)定

·         納米定位具有很高的平面度和運動平直度

電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器在不接觸的情況下以亞納米分辨率進行測量。它們保證了出色的運動線性，長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。

自動配置和快速的組件更換

機械和控制器可以根據(jù)需要進行組合，并可以快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時，數(shù)字控制器的自動校準功能都會使用此數(shù)據(jù)。

適用于復雜的真空應用

壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。無需潤滑劑或油脂即可運行。不含聚合物的壓電系統(tǒng)可實現(xiàn)極低的除氣率。

PICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長

獲得專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實證明，沒有單一故障的1000億次循環(huán)。

零游隙撓性導軌，導向精度高

撓性導板無維護，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且對沖擊和振動不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可以在寬溫度范圍內(nèi)工作。

平行位置測量，在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度

所有的自由度均以單個固定參考為參考。可以實時地（取決于帶寬）主動補償與另一軸發(fā)生的不必要的運動串擾（主動引導）。即使在動態(tài)操作中，也可以在納米范圍內(nèi)實現(xiàn)高跟蹤精度。