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德國PIXY位移平臺P-611.XZ•P-611.2 XZ和XYZ納米定位器

特點(diǎn)：

·         緊湊：表面44毫米×44毫米

·         行程范圍為120 µm×120 µm

·         分辨率至0.2 nm

·         特別便宜的系統(tǒng)（機(jī)械和控制器）

·         零間隙，高精度撓曲導(dǎo)向系統(tǒng)

·         PICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長

·         也提供線性和Z載物臺，以及XYZ版本

應(yīng)用領(lǐng)域：

·         干涉儀

·         顯微鏡檢查

·         納米定位

·         生物技術(shù)

·         測試程序和質(zhì)量保證

·         光子學(xué)

·         光纖定位

·         半導(dǎo)體技術(shù)

零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高

撓性導(dǎo)板無維護(hù)，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且對沖擊和振動不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可以在寬溫度范圍內(nèi)工作。

PICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長

獲得專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護(hù)它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實(shí)證明，沒有單一故障的1000億次循環(huán)。