PI (Physik Instrumente)線性促動器

楊文輝 QQ：2850590598   手機：18301216381 電話：010-64717020-111 傳真：010-84786709-666 郵件：sales11@handelsen.cn

PI不僅開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺和執(zhí)行器，用于線性，旋轉和垂直運動或不同軸的組合。 因此，PI可以將這些解決方案應用于客戶特定應用，或者提供用于運動和定位的成品子系統(tǒng)。

PI是技術先進的以運動為中心的解決方案的供應商，因此使用專有的驅動組件和高精度定位器。 所有級別的集成都可以達到使用不同驅動技術（包括運動控制）的多軸組合。

多年來，運動子系統(tǒng)的工程設計一直是PI核心業(yè)務的一部分。 定制解決方案，無縫融入現(xiàn)有流程，推動芯片生產(chǎn)或光子封裝制造和檢測流程的自動化以及主要研究設施。

精密部件是高質量多軸設計的基礎
成功的關鍵是PI Group的全部知識和經(jīng)驗。 通過一家供應商提供的廣泛標準產(chǎn)品組合，可輕松實現(xiàn)定制解決方案。 PI提供系統(tǒng)的所有組件并配置多軸結構。

長行程納米定位，具有高力，PiezoWalk原理

應用領域

?工業(yè)級精度定位

?半導體技術

?半導體測試

?晶圓檢測

?平版印刷術

?納米壓印

?納米測量

?強磁場和真空中運動

采用PiezoWalk步進驅動實現(xiàn)納米精度和大進給力

數(shù)個壓電陶瓷促動器在

PiezoWalk步進驅動中執(zhí)行步進運動，將動輪向前推進。促動器控制允許以遠低于一納米的分

辨率進行最小步進和推進運動。

增量

編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學

編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應、機械作用或彈性形變不會對測量造成影響。

適用于復雜真空應用PI的壓電電機原則上是真空兼容的，并且適合在強磁場中運行。驅動器的特殊版本適于此目的。壓電陶瓷步進驅動器還可用于有較強紫外線輻射的無塵室或環(huán)境中。

規(guī)格

N-216.101 / N

-216.1A1N

-216.201 / N

-216.2A1

公差N-216NEXLINE

線性促動器

?力量生成達600牛

?保持力達800牛

?行程20毫米

?帶分辨率的集成式直接測量線性編碼器5納米

訂購信息

N-216.101

NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器，20毫米，300牛，開環(huán)

N-216.1A1

NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器，20毫米，300牛，線性編碼器，5納米分辨率

N-216.201

NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器，20毫米，600牛，開環(huán)

N-216.2A1

NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器，20毫米，600牛，線性編碼器，5納米分辨率