常用產(chǎn)品介紹
直流濺射電源GS 05 - GS 30
緊湊型設(shè)備已開(kāi)發(fā)用于生產(chǎn)和實(shí)驗(yàn)室設(shè)施中較小的磁子。由于操作簡(jiǎn)單安全,電源可以非常靈活地使用。
弧形處理自動(dòng)適應(yīng)不同的過(guò)程參數(shù),因此無(wú)需編程工作。這些設(shè)備設(shè)計(jì)用于安裝在 19" 組件中。
輸出功率0.5-3.0kW
空氣 1/2 19" 內(nèi)置住房, 3R
可互換接口模塊
電壓、電流和電源的數(shù)字顯示屏
通過(guò)前面板手動(dòng)操作
自動(dòng)弧形處理
直流濺射電源GS 60–GS 150
GS 60 – GS 150 系列的氣冷直流電源有三種操作變種:主動(dòng)前面板、被動(dòng)前面板和狀態(tài) LED。電源可在不限制切換時(shí)間的情況下全額定功率運(yùn)行。
幾個(gè)模塊的并行操作是可能的。GS 60–GS 150系列,像所有ADL電源一樣,具有極快的自動(dòng)弧線取消。設(shè)備的操作非常簡(jiǎn)單和安全。
輸出功率 6.0 - 15kW
空氣
19" 內(nèi)置住房, 3U
無(wú)潛力輸出
焦耳時(shí)尚
自動(dòng)弧形處理
直流濺射電源GSW 100–GSW 300
可同時(shí)運(yùn)行至240kW,可增加輸出功率。有了特殊的電路概念,"主奴隸布線"可以免除。即使在非空調(diào)客房,高效的水冷卻也可確保最大的可靠性。
這些設(shè)備可以通過(guò)活動(dòng)前面板或界面手動(dòng)操作。提供各種前面板和接口模塊。極快的弧形處理完全自動(dòng)工作,即使在并行操作中也不需要外部同步。
輸出功率10-30kW
水冷卻
19"住房, 3 U
電磁閥控制
無(wú)潛力輸出
并行運(yùn)行至240kW
自動(dòng)弧形處理
直流濺射電源GX 50–GX 150
GX 濺射電源能夠自動(dòng)擦除高達(dá)每秒 80,000 個(gè)弧。極端性能,加上小尺寸,是GX系列的突出標(biāo)志。
這些設(shè)備可以全額定功率運(yùn)行,不受切換時(shí)間的限制,也可以并行連接。
輸出功率5-15kW
水冷卻
1/2 19" 住房, 3U
無(wú)潛力輸出
焦耳時(shí)尚
自動(dòng)弧形處理
直流濺射電源 HX 150 - HX 300
1/2 19"寬度和5U的極其緊湊的設(shè)計(jì)是專(zhuān)門(mén)為生產(chǎn)工廠開(kāi)發(fā)的,其中將不配用控制柜。HX 具有安裝選項(xiàng)卡,可直接集成到任何安裝位置的系統(tǒng)中。
顯示屏是旋轉(zhuǎn)的,可以從設(shè)備中分離出來(lái)。即使在非空調(diào)客房,高效的水冷卻也可確保最大的可靠性。為了避免凝結(jié),可以通過(guò)集成溫度控制連接外部電磁閥。
可同時(shí)運(yùn)行至240kW,可增加輸出功率。特殊的電路概念允許主奴隸操作和并行控制通過(guò)界面組合或Provibus。極快的弧形處理完全自動(dòng)工作,因此無(wú)需設(shè)置參數(shù)。
輸出功率 15kW 至 30kW
并行運(yùn)行至240kW
水冷卻
電磁閥控制
帶灰塵顆粒分離器的住房通風(fēng)
1/219" 住房, 5U
法蘭格緊固件
M8 女線起重機(jī)小眼
可拆卸旋轉(zhuǎn)顯示屏
自動(dòng)弧形處理
離子源電源
對(duì)于離子源(考夫曼和ECR)的操作,提供各種特殊設(shè)備,也可以根據(jù)要求提供其他輸出電壓或服務(wù)。
所有設(shè)備均可選擇配備模擬接口或與 Profibus 連接。
脈沖發(fā)生器、選項(xiàng)和配件
PULSE 發(fā)電機(jī) RD 300 與大多數(shù) ADL 電源一起,按照共振開(kāi)關(guān)原理工作。由于效率極高(30kW時(shí)為99.5%),該設(shè)備非常緊湊,只能產(chǎn)生最大150W的低耗電量。
現(xiàn)有系統(tǒng)可以很容易地進(jìn)行改裝,因?yàn)榘l(fā)電機(jī)與直流電源并行直接連接到陰極。該設(shè)備的工作頻率為 2kHz。但是,使用外部信號(hào)發(fā)生器,頻率可在 0.2 到 3kHz 之間變化。幾個(gè)發(fā)電機(jī)可以通過(guò)控制線進(jìn)行自動(dòng)同步連接。
單極脈沖發(fā)生器 SD 30、SD 150 和 SD 300
脈沖發(fā)生器與ADL直流電源一起生成單極脈沖。這些設(shè)備的固定頻率為 20kHz。使用外部信號(hào)發(fā)生器,頻率變化范圍從 1kHz 到 40kHz 不等。發(fā)電機(jī)具有自動(dòng)電弧抑制。
行程級(jí)別和中斷時(shí)間的參數(shù)會(huì)自動(dòng)適應(yīng)相應(yīng)的過(guò)程。不需要用戶(hù)通常的編程。幾個(gè)發(fā)電機(jī)可以通過(guò)控制線進(jìn)行同步連接。設(shè)備自動(dòng)切換到外部同步。
輸出功率 3 千瓦,15 千瓦,30 千瓦
并行運(yùn)行至240千瓦
自動(dòng)弧形處理
無(wú)潛力輸出
自動(dòng)同步
空氣
非常緊湊的設(shè)計(jì)
法蘭格緊固件
主要產(chǎn)品
離子源電源
加速器
中和器
發(fā)射器
通訊模塊
脈沖發(fā)生器
單極脈沖發(fā)生器
濺射電源
直流電源
直流濺射電源
中頻雙極型脈沖發(fā)生器
主要型號(hào)
ADL GG03
ADL GIP10
ADL GG12
ADL Profibus 2.547
ADL GS 05 – GS 30
ADL GS 60 – GS 150
ADL GSW 100 – GSW 300
ADL GX 50 – GX 150
ADL HX 150 – HX 300
ADL SD 30
ADL SD 150
ADL SD 300
ADL SB 300
ADL GSW 100/500
ADL GSW 100/800
ADL GSW 150/400
ADL GSW 150/500
ADL GS 60/800
ADL GS 80/800
ADL GSW 200/1000
ADL GX 50/800
ADL GX 60/800
ADL HX 150/400
ADL HX 150/500
ADL HX 150/800
ADL HX 150/1000
ADL HX 200/800
ADL GP 10/800
ADL GP 15/800
ADL GP 20/800
ADL GP 30/800
ADL GP 30/1000
ADL GP 60/800
ADL GP 100/800
ADL GP 120/800
ADL GP 150/800
ADL RD 300
ADL GG 03
ADL GG 03.1
ADL GG 12
ADL GG 12.1