PIEZOCONCEPT納米定位臺Z-STAGE.10原理介紹
王新宇
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PIEZOCONCEPT是生產(chǎn)納米平臺的行業(yè)，主要針對納米平臺與超高分辨率顯微鏡、光子捕獲和原子力顯微鏡配套使用。PIEZOCONCEPT納米定位臺系列產(chǎn)品的特點(diǎn)就是使用的傳感器優(yōu)于電容傳感器，能夠獲得更強(qiáng)的信號，確保平臺高穩(wěn)定性。同時，我們采用低噪聲電子和彎曲設(shè)計平臺，能夠確保亞納米級本底噪聲。
PIEZOCONCEPT納米定位臺系列產(chǎn)品主要應(yīng)用：
航天航空
顯微與成像
醫(yī)療技術(shù)
納米技術(shù)
數(shù)據(jù)存儲技術(shù)
圖像處理
測量/檢測
生物科學(xué)與生命科學(xué)
集成光學(xué)
激光加工與激光光刻
半導(dǎo)體技術(shù)
超精密加工
Z-STAGE系列是一款緊湊型Z型直接驅(qū)動納米定位器，具有高速能力。它可以與具有2×66毫米孔徑（LF66 / LFHS2）的2軸納米定位器結(jié)合使用，以獲得SPM3或SPM3LR。Z 載物臺可提供 5、10、25 或 50μm 的運(yùn)動范圍。
納米定位器Z-STAGE.10型號參數(shù)
活動范圍：50μm
分辨率0.05nm
本底噪聲：0.005nm
重性 ：0.1nm
線性化：0.02
諧振頻率：3500Hz
剛度：2.7N/um
材質(zhì)：鋁
尺寸：Φ30x 69,8 mm
原理：納米位移臺主要采用超精密運(yùn)動控制技術(shù)超精密技術(shù)是由光、機(jī)、電、控制軟件等多領(lǐng)域技術(shù)集成的運(yùn)動控制技術(shù)。內(nèi)部由一個或多個壓電陶瓷作為驅(qū)動,其產(chǎn)生單軸或者多軸的運(yùn)動;通過柔性鉸鏈技術(shù)將壓電陶瓷產(chǎn)生的運(yùn)動傳遞和放大;經(jīng)超精密電容傳感器將運(yùn)動信息傳遞給控制系統(tǒng),再由控制系統(tǒng)對該運(yùn)動進(jìn)行修正、補(bǔ)償和控制;在對運(yùn)動系統(tǒng)進(jìn)行閉環(huán)控制時,可實(shí)現(xiàn)納米、亞納米級別的運(yùn)動分辨率和運(yùn)動控制精度。
型號：
PIEZOConCEPT HS1H.10
PIEZOConCEPT HS1H.30
PIEZOConCEPT HS1H.50
PIEZOConCEPT HS1H.70
PIEZOConCEPT HS1H.100
PIEZOConCEPT HS1.10
PIEZOConCEPT HS1.30
PIEZOConCEPT HS1.50
PIEZOConCEPT HS1.70
PIEZOConCEPT HS1.100
PIEZOConCEPT Z-STAGE.5
PIEZOConCEPT Z-STAGE.10
PIEZOConCEPT Z-STAGE.25
PIEZOConCEPT Z-STAGE.50
PIEZOConCEPT TT1.5
PIEZOConCEPT TT1.10
PIEZOConCEPT LFHS2.30
PIEZOConCEPT LFHS2.50
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