PI (Physik Instrumente)NEXLINEOEM線性促動器N-111

NEXLINEOEM線性促動器

長行程納米定位，PiezoWalk原理

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N-111

§ 行程10毫米

§ 帶分辨率的集成式直接測量線性編碼器 5納米

§ 力量生成達(dá)50牛

§ 保持力達(dá)70牛

應(yīng)用領(lǐng)域

§ 工業(yè)級精度定位

§ 半導(dǎo)體技術(shù)

§ 半導(dǎo)體測試

§ 晶圓檢測

§ 平版印刷術(shù)

§ 納米壓印

§ 納米測量

§ 強(qiáng)磁場和真空中運(yùn)動

采用PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動實現(xiàn)納米精度和大進(jìn)給力

數(shù)個壓電陶瓷促動器在PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動中執(zhí)行步進(jìn)運(yùn)動，將動輪向前推進(jìn)。促動器控制允許以遠(yuǎn)低于一納米的分 辨率進(jìn)行最小步進(jìn)和推進(jìn)運(yùn)動。

增量編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學(xué)編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會對測量造成影響。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

PI的壓電電機(jī)原則上是真空兼容的，并且適合在強(qiáng)磁場中運(yùn)行。驅(qū)動器的特殊版本適于此目的。壓電陶瓷步進(jìn)驅(qū)動器 還可用于有較強(qiáng)紫外線輻射的無塵室或環(huán)境中。

訂購信息

N-111.2A1

NEXLINE OEM壓電步進(jìn)促動器，10毫米，50牛， 線性編碼器，5納米分辨率

N-111.201

NEXLINE OEM壓電步進(jìn)促動器，10毫米，50牛

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