PI (Physik Instrumente)NEXACTOEM小型線性電機(jī)/促動器N-310

NEXACTOEM小型線性電機(jī)/促動器

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緊湊，快速，具有長行程，PiezoWalk原理

N-310

§ 行程為10至125毫米，動輪長度可變

§ 緊湊型設(shè)計，經(jīng)濟(jì)劃算的設(shè)計

§ 分辨率達(dá)0.03納米

§ 力量生成達(dá)10牛

應(yīng)用領(lǐng)域

§ 工業(yè)級精度定位

§ 半導(dǎo)體技術(shù)

§ 半導(dǎo)體測試

§ 晶圓檢測

§ 平版印刷術(shù)

§ 納米壓印

§ 納米測量

§ 強磁場和真空中運動

采用PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動實現(xiàn)納米精度和大進(jìn)給力

數(shù)個壓電陶瓷促動器在PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動中執(zhí)行步進(jìn)運動，將動輪向前推進(jìn)。促動器控制允許以遠(yuǎn)低于一納米的分 辨率進(jìn)行最小步進(jìn)和推進(jìn)運動。

增量編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學(xué)線性編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈

性形變不會對測量造成影 響。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

PI的壓電電機(jī)原則上是真空兼容的，并且適合在強磁場中運行。驅(qū)動器的特殊版本適于此目的。壓電陶瓷步進(jìn)驅(qū)動器 還可用于有較強紫外線輻射的無塵室或環(huán)境中。

訂購信息

N-310.10

NEXACT OEM線性驅(qū)動器，10毫米，10牛

N-310.101

NEXACT OEM線性驅(qū)動器，10毫米，10牛，偏移電纜出口

N-310.11

NEXACT OEM線性驅(qū)動器，20毫米，10牛

N-310.111

NEXACT OEM線性驅(qū)動器，20毫米，10牛，偏移電纜出口

N-310.12

NEXACT OEM線性驅(qū)動器，30毫米，10牛

N-310.121

NEXACT OEM線性驅(qū)動器，30毫米，10牛，偏移電纜出口

N-310.13

NEXACT OEM線性驅(qū)動器，50毫米，10牛

N-310.131

NEXACT OEM線性驅(qū)動器，50毫米，10牛，偏移電纜出口

N-310.14

NEXACT OEM線性驅(qū)動器，75毫米，10牛

N-310.141

NEXACT OEM線性驅(qū)動器，75毫米，10牛，偏移電纜出口

N-310.15

NEXACT OEM線性驅(qū)動器，100毫米，10牛

N-310.151

NEXACT OEM線性驅(qū)動器，100毫米，10牛，偏移電纜出口

N-310.16

NEXACT OEM線性驅(qū)動器，125毫米，10牛

N-310.161

NEXACT OEM線性驅(qū)動器，125毫米，10牛，偏移電纜出口

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