PI (Physik Instrumente)PICMAWalk 步進(jìn)驅(qū)動器N-331

PICMAWalk 步進(jìn)驅(qū)動器

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用于速度高達(dá)15毫米/秒、推拉力高達(dá)50牛的持久應(yīng)用的OEM步進(jìn)驅(qū)動器

N-331

§ 帶PICMA技術(shù)可實現(xiàn)超級耐久性的穩(wěn)健 型且可用于工業(yè)的步進(jìn)驅(qū)動

§ 其尺寸級別中最快、最強(qiáng)的驅(qū)動器

§ 動輪長度的變化范圍為25毫米至100 毫 米

§ 重達(dá)5公斤的負(fù)載的精確、納米級精度 定位

§ 即插即用型，得益于PI專有的控制器技 術(shù)

應(yīng)用領(lǐng)域

§ 工業(yè)級精度定位

§ 半導(dǎo)體技術(shù)

§ 半導(dǎo)體測試

§ 晶圓檢測

§ 平版印刷術(shù)

§ 納米壓印

§ 納米測量

§ 強(qiáng)磁場和真空中運(yùn)動

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng) 的聚合物絕緣促動器長達(dá)十倍。它們被證明可實現(xiàn)無故障運(yùn)行1000億個循環(huán)。

采用PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動實現(xiàn)納米精度和大進(jìn)給力

數(shù)個壓電陶瓷促動器在PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動中執(zhí)行步進(jìn)運(yùn)動，將動輪向前推進(jìn)。促動器控制允許以遠(yuǎn)低于一納米的分 辨率進(jìn)行最小步進(jìn)和推進(jìn)運(yùn)動。

增量編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學(xué)編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會對測量造成影響。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用 PI的壓電電機(jī)原則上是真空兼容的，并且適合在強(qiáng)磁場中運(yùn)行。驅(qū)動器的特殊版本適于此目的。壓電陶瓷步進(jìn)驅(qū)動器 還可用于有較強(qiáng)紫外線輻射的無塵室或環(huán)境中。

訂購信息

N-331.10

壓電步進(jìn)驅(qū)動器PICMAWalk，行程為25毫米，開環(huán)，推/拉力為50牛

N-331.13

壓電步進(jìn)驅(qū)動器PICMAWalk，行程為25毫米，增量傳感器，推/拉力為50牛

N-331.20

壓電步進(jìn)驅(qū)動器PICMAWalk，行程為50毫米，開環(huán)，推/拉力為50牛

N-331.23

壓電步進(jìn)驅(qū)動器PICMAWalk，行程為50毫米，增量傳感器，推/拉力為50牛

N-331.40

壓電步進(jìn)驅(qū)動器PICMAWalk，行程為100毫米，開環(huán)，推/拉力為50牛

N-331.43

壓電步進(jìn)驅(qū)動器PICMAWalk，行程為100毫米，增量傳感器，推/拉力為50牛

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