pi-P-363 PicoCube XY(Z) 壓電掃描儀：
用于掃描探針顯微鏡的動態(tài)納米定位器
用于 AFM / SPM 的超高性能閉環(huán)掃描儀
用于生物/納米技術(shù)的緊湊型操作工具
共振頻率 9.8 kHz 用于特別快速的掃描
自動補(bǔ)償導(dǎo)向誤差的平行測量技術(shù)
分辨率 50 皮米
行程 5 µm × 5 µm × 5 µm
pi-P-363 PicoCube XY(Z) 壓電掃描儀
應(yīng)用領(lǐng)域
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
掃描篩選
零間隙撓性導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)高導(dǎo)向精度
撓性導(dǎo)軌免維護(hù)、免摩擦和免磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且它們對沖擊和振動不敏感。它們 100% 真空兼容，可在很寬的溫度范圍內(nèi)工作。
由于平行位置測量，在納米范圍內(nèi)具有高跟蹤精度
所有的自由度都是根據(jù)一個(gè)單一的固定參考來測量的。軸之間不需要的串?dāng)_可以實(shí)時(shí)（取決于帶寬）主動補(bǔ)償（主動引導(dǎo)）。即使在動態(tài)操作中，也能在納米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高跟蹤精度。
具有電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，無需接觸。它們保證出色的運(yùn)動線性度、長期穩(wěn)定性和 kHz 范圍內(nèi)的帶寬。
自動配置和快速組件更換
機(jī)械和控制器可以根據(jù)需要組合并快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機(jī)械裝置 D-sub 連接器的 ID 芯片中。每次打開控制器時(shí)，數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能都會使用此數(shù)據(jù)。
pi-P-363 PicoCube XY(Z) 壓電掃描儀
申紫東
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