Q-845 PI（Physik Instrumente）六足位移臺

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PI公司介紹：

PI位于德國，是一家典型的高科技中型企業(yè)。公司的規(guī)模使其能迅速靈活地響應客戶的要求，同時還可滿足已建立并經測試的流程的可靠性和安全性要求。PI因其產品的高質量和客戶關系的整體可靠性而聞名。

產品描述

六自由度      X和Y向上的行程為±7毫米，Z向上為±5毫米      θX、θY向上的的旋轉范圍為±7度， θZ向上為±8度

負載能力為10牛，居中固定      自鎖，靜止狀態(tài)下無熱量產生      真空兼容至10-6百帕

壓電慣性驅動器

壓電陶瓷慣性驅動器為空間節(jié)約型且價格實惠的基于壓電陶瓷的驅動器，其保持力相對較大，行程幾乎是無限的。慣性驅動器原理是基于由特殊驅動器電控提供的修正鋸齒波電壓控制的單個壓電促動器。促動器緩慢膨脹，移動轉子。由于其慣性，轉子無法跟上促動器隨后的快速收縮，停留在其位置上。高達20kHZ的工作頻率可使被直接驅動的轉子的速度大于5毫米/秒。

交叉滾子軸承

利用交叉滾柱軸承，滾珠軸承中的滾珠的接觸點被淬火滾柱的線接觸取代。因此，它們的剛度明顯提高，需要的預載更小，這減少了摩擦并實現了更平滑的運行。交叉滾柱軸承的另一個特征是高導向精度和負載能力。力導向滾動體保持架防止線性導向蠕變。

應用領域

工業(yè)和科研。測量技術、顯微鏡、顯微操縱、生物技術和自動化。

規(guī)格

	Q-845.140	單位	公差
運動和定位
主動軸	X，Y，Z，θX，θY，θZ
集成傳感器	增量線性編碼器
X、Y向上的行程*	±7	毫米
Z向上的行程*	±5	毫米
θX、θY向上的旋轉范圍*	±7	°
θZ向上的旋轉范圍*	±8	°
傳感器分辨率	1	納米
X、Y向上的小位移	6	納米	典型值
Z向上的小位移	20	納米	典型值
θX、θY、θZ向上的小位移	0.9	微弧度	典型值
X、Y向上的單向重復精度	±30	納米	典型值
Z向上的單向重復精度	±35	納米	典型值
θX向上的單向重復精度	±20	微弧度	典型值
θY向上的單向重復精度	±10	微弧度	典型值
θZ向上的單向重復精度	±6	微弧度	典型值
X、Y向上的空回	40	納米	典型值
Z向上的空回	60	納米	典型值
θX、θY向上的空回	35	微弧度	典型值
θZ向上的空回	20	微弧度	典型值
X、Y和Z向上的大速度	5	毫米/秒	大
θX、θY和θZ向上的大角速度	50	毫弧度/秒	大
機械特性
X、Y向上的剛性	1	牛/微米
Z向上的剛性	2	牛/微米
X、Y向上的負載能力	5	牛	大
Z向上的負載能力（底板為水平方向）	10	牛	大
保持力，斷電（底板為水平方向/任意方向）	20 / 10	牛	大
θX、θY、θZ向上的允許力矩	0.5	牛米	大
驅動類型	壓電慣性驅動器
其他
工作溫度范圍	0 到 40	°C
連接	6個Sub-D 15針（公）
材料	不銹鋼，鋁
質量	1.9	千克	±5 %
不帶電纜和連接器的質量	1.2	千克	±5 %
電纜長度	2	米	±10 毫米

技術參數為 20±3 °C下的數值。

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* 單個坐標（X、Y、Z、θX、θY和θZ）的行程相互依賴。本表中各軸對應的數值為其大行程，此時其他軸和樞軸點位于參考位置。

訂購信息

Q-845.140

Q-Motion®

SpaceFAB，壓電慣性驅動器，X和Y向上的行程為±7毫米，Z向上的行程為±5毫米，θx、θy向上的旋轉范圍為±7度，θz向 上的旋轉范圍為±8度，負載能力為10牛，真空兼容至10-6百帕