德國FuG Elektro
nik 射頻電源，提供最高水平的可靠性和可重復(fù)性
公司介紹：
FuG Elektronik GmbH 和 Guth High Voltage GmbH 現(xiàn)在是 XP Power 的一部分，XP Power 是世界領(lǐng)先的電子行業(yè)關(guān)鍵電源解決方案開發(fā)商和制造商之一。
XP Power致力于成為電源解決方案的領(lǐng)先供應(yīng)商，包括AC-DC電源和DC-DC轉(zhuǎn)換器，高壓電源 和射頻電源。
射頻功率系統(tǒng)
大批量、經(jīng)生產(chǎn)驗證的射頻解決方案
無論是過程穩(wěn)定性還是易于集成，對高性能電源解決方案的要求往往都很復(fù)雜。我們的射頻專業(yè)知識受到客戶的信任，能夠在我們經(jīng)濟高效的解決方案中提供最高水平的可靠性和可重復(fù)性。
我們的射頻功率能力
當(dāng)涉及到關(guān)鍵電力系統(tǒng)時，故障不是一種選擇，
這就是XP Power致力于在其射頻電源解決方案中提供最佳可靠性的原因，其控制和監(jiān)視器使您能夠密切關(guān)注性能。
我們擁有易于集成的射頻發(fā)生器，具有最新的通信協(xié)議和先進的脈沖功能。結(jié)合我們領(lǐng)先的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，我們幫助客戶解決他們最高價值的問題。
增強了工藝重復(fù)性和最終使用壽命值
我們提供廣泛的射頻等離子體發(fā)生器和阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，可根據(jù)您的獨特應(yīng)用進行配置。從半導(dǎo)體加工到工業(yè)應(yīng)用，我們的產(chǎn)品都能滿足您獨特的工藝要求。
XP Power射頻發(fā)生器采用新的穩(wěn)定技術(shù)設(shè)計，可在工藝條件發(fā)生變化時消除射頻振蕩。這將帶來更可重復(fù)的逐運行供電。通過消除不穩(wěn)定性，這些組件也可以在更安全的狀態(tài)下運行，從而提高射頻功率傳輸系統(tǒng)的壽命。
產(chǎn)品：
①：CDX系列
CDX系列是業(yè)界領(lǐng)先的雙射頻等離子體發(fā)生器。這種獨特的設(shè)計是XP射頻放大器40多年工程知識的結(jié)晶，將兩種不同的射頻輸出集成到一個緊湊、高性能的封裝中。在可維護性和集成性方面，CDX發(fā)生器是最具成本效益和靈活性的射頻解決方案，旨在滿足未來市場需求。
特點和優(yōu)點
可配置400kHz、2MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz或60MHz的任意兩個固定頻率
每輸出功率高達1.5kW
每個獨立通道提供可靠且可重復(fù)的射頻功率
靈活的平臺支持廣泛的應(yīng)用程序
擁有成本低
②：CH系列
CH系列射頻發(fā)生器旨在優(yōu)化占地面積效率，將我們的XP功率射頻放大器和開關(guān)模式直流技術(shù)結(jié)合到一個緊湊的半機架封裝中，具有高水平的功率傳輸可靠性和準(zhǔn)確性。模塊化設(shè)計使CH生成器可配置用于任何客戶平臺。
特點和優(yōu)點
最寬的可選擇固定頻率：400kHz至60MHz
功率范圍從50W到1.5kW
頻率捷變調(diào)諧和高級脈沖
DeviceNet、RS232和EtherCAT
靈活的設(shè)計，便于工藝工具集成
采用TurboTune技術(shù)的經(jīng)濟高效的解決方案
③：CB系列
在必須具備工藝可靠性的情況下，CB射頻發(fā)生器采用我們經(jīng)過半導(dǎo)體生產(chǎn)驗證的固態(tài)設(shè)計，提供精確且可重復(fù)的功率控制，為您的最關(guān)鍵的工藝提供超穩(wěn)定可靠的射頻功率。
特點和優(yōu)點
固定頻率的多樣化選擇：13.56至60MHz
功率范圍從600W到5.0kW
S-Technology提供超穩(wěn)定的輸出
增強等離子體穩(wěn)定性，實現(xiàn)最佳工藝環(huán)境
改進的射頻控制可實現(xiàn)功率重復(fù)性
穩(wěn)健的設(shè)計可實現(xiàn)高加工工具正常運行時間
④：CLB系列
CLB3000系列融合了我們CB3000平臺的所有創(chuàng)新。CLB發(fā)電機專門設(shè)計用于低頻和中頻應(yīng)用，提供增強的精度和可重復(fù)的功率輸送。
特點和優(yōu)點
標(biāo)準(zhǔn)功率版本：600W、1.25kW、3.0kW或200W至10kW的可配置功率選項
寬低頻至中頻固定頻率——20kHz至2MHz
增強的供電精度
高度靈活性的平臺支持廣泛的中低頻應(yīng)用
用于過程控制的超穩(wěn)定調(diào)節(jié)射頻輸出
擁有成本低
⑤：RF匹配網(wǎng)絡(luò)
XP功率阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)采用我們獨特的高速調(diào)諧算法設(shè)計，即使在高“Q”負(fù)載下也能實現(xiàn)精確的匹配調(diào)諧?？刂齐娐房焖佟?zhǔn)確、可靠地將輸入阻抗調(diào)整為50歐姆，以響應(yīng)過程中負(fù)載特性的變化。
特點和優(yōu)點
寬功率范圍從50W到10kW
寬阻抗范圍，可覆蓋不同應(yīng)用
直流偏置和射頻VP-P檢測器電路
定制以適合所有類型的腔體
調(diào)整過程中的運行到運行和機組到機組的可重復(fù)性確保了更嚴(yán)格的過程控制
通過快速調(diào)整和等離子體穩(wěn)定時間提高工具生產(chǎn)率
德國FuG Elektronik 射頻電源，提供最高水平的可靠性和可重復(fù)性
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