德國PI納米定位平臺P-753電容式傳感器線性度高

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自1970年成立以來，PI（Physik Instrumente）已成為精密定位技術(shù)領(lǐng)域的優(yōu)質(zhì)制造商。PI開發(fā)和生產(chǎn)用于線性、旋轉(zhuǎn)和垂直運動或不同軸組合的各種定位平臺和致動器。從精密機械和電子技術(shù)到位置傳感器技術(shù)，以及子公司 PI Ceramic 開發(fā)的壓電陶瓷和致動器。我們開發(fā)的技術(shù)包括從基本解決方案到特定應(yīng)用版本。

主要產(chǎn)品：

PI納米定位壓電撓性平臺

PI微型位移臺

PI線性位移臺

PI線性致動器

PI旋轉(zhuǎn)位移臺

PI六足位移臺

PI 的納米定位平臺和掃描儀結(jié)合了納米級精度的分辨率和導(dǎo)向精度，并將串擾降低。因此，它們適用于計量、微觀工藝、干涉測量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢測系統(tǒng)中的基準應(yīng)用。帶有 PICMA® 壓電致動器驅(qū)動和撓性導(dǎo)軌的線性壓電平臺的行程范圍可達 1.5 mm。

P-753 LISA 線性致動器和定位平臺

位置動態(tài)穩(wěn)定

導(dǎo)軌平臺和執(zhí)行器同時使用

行程范圍達 38 µm

分辨率 0.1 nm

直接驅(qū)動，響應(yīng)特別快

電容式傳感器帶來較高線性度

P-620.Z - P-622.Z PIHera 垂直精密定位器

可變行程范圍和軸配置

行程范圍 50 µm 至 250 µm（開環(huán) 350 µm）

分辨率達 0.1 nm

線性誤差僅為 0.02

使用電容式傳感器直接測量位置

X、XY、Z、XYZ 版本

型號示例：

PI納米定位平臺p-621.1U

PI納米定位平臺p-625.1U

PI納米定位平臺p-620.Z

PI納米定位平臺p-622.Z

PI納米定位平臺p-753

PI納米定位平臺p-752

PI納米定位平臺p-750

PI納米定位平臺p-733.Z

PI納米定位平臺p-612.Z

PI納米定位平臺p-611.1

德國PI納米定位平臺P-753電容式傳感器線性度高