德國PI N-381 NEXACT線性促動器
王春風(fēng)
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產(chǎn)品優(yōu)勢：
?行程30毫米
?力量生成達(dá)10牛
?帶NEXACT壓電陶瓷步進(jìn)驅(qū)動
?可選配：集成線性編碼器，分辨率為20納米
應(yīng)用領(lǐng)域：
?工業(yè)級精度定位
?半導(dǎo)體技術(shù)
?半導(dǎo)體測試
?晶圓檢測
?平版印刷術(shù)
?納米壓印
?納米測量
?強磁場和真空中運動
產(chǎn)品參數(shù)：
主動軸 X
行程 30毫米
集成傳感器 - 增量線性編碼器
傳感器分辨率 - 20納米*
模擬模式下的行程: ±5微米（最大值）
分辨率，開環(huán) -0.03納米**
分辨率，閉環(huán) - 20納米*
最大速度 10 毫米/秒*
機械特性
最大推/拉力（主動） 10牛
最大保持力（被動） 15牛
可允許的側(cè)向力 10牛（最大值）
驅(qū)動特性
驅(qū)動類型 NEXACT線性驅(qū)動器
工作電壓 -10伏至+45伏
工作溫度范圍 0至50攝氏度
材料 鉻鋼/碳纖維復(fù)合材料
質(zhì)量 ：255克
電纜長度 1.5米
電機連接器15針 HD Sub-D 15針（公頭）
傳感器連接 - HD Sub-D 15針（母頭）
型號：
N-381.30
N-381.3A
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德國PI N-381 NEXACT線性促動器
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