Physik Instrumente P-363 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀
L-812高負載線性平臺
步進或伺服電機•驅(qū)動螺桿•性價比高
強大的線性平臺，用于要求苛刻的工業(yè)應(yīng)用
精密滾珠絲杠，高性能步進或同步伺服電機，重型循環(huán)滾珠軸承以及精密旋轉(zhuǎn)編碼器可在高負載下連續(xù)可靠地運行?？蛇x的抱閘允許用作Z軸。滾珠絲杠可以在不拆卸的情況下從外部進行補充潤滑，以確保高可靠性和長壽命。
開拓設(shè)計
L-812系列的循環(huán)球軸承導(dǎo)軌設(shè)計用于高負載能力和動態(tài)性能。電機的高分辨率可改善跟蹤性能，減小跟蹤誤差并縮短建立時間。
選項
步進或同步伺服電機
抱閘
旋轉(zhuǎn)編碼器，增量式或絕對式
折疊式傳動系統(tǒng)可減少總長度
同步伺服電機
這些電動機在較大的轉(zhuǎn)速范圍內(nèi)具有較高的定位精度和較高的過載能力。高扭矩和低慣量確保了驅(qū)動器的高動態(tài)。這些電機的使用壽命長，性能高且堅固耐用，可在工業(yè)自動化應(yīng)用中獲得出色的效果。
步進電機
強大且低振動的2相步進電機即使在沒有位置控制的情況下也可以實現(xiàn)精確定位。
應(yīng)用領(lǐng)域
電子產(chǎn)品生產(chǎn)：微裝配。傳感器/攝像頭的位置。
激光材料加工：激光微加工。
工業(yè)噴墨印刷。矩陣板和印刷電路板的生產(chǎn)。
測試與檢查。
醫(yī)療設(shè)備制造：氣密焊接。基因?qū)嶒炇业臋C器人系統(tǒng)。
空氣軸承和位移臺
空氣軸承臺用于需要無振動運動，速度需要高度恒定且要求最佳角度重復(fù)性的場合。
空氣軸承避免了摩擦，磨損和反沖效應(yīng)。PIglide線性，旋轉(zhuǎn)和球面軸承是精密組件，可以集成和電動化用于OEM，工業(yè)和研究市場。
1.A-142 PIglide音圈線性平臺，帶空氣軸承
高性能•兼容無塵室•垂直安裝選件
產(chǎn)品總覽
高性能緊湊型音圈線性平臺，帶有空氣軸承導(dǎo)軌。免維護，無限壽命，非常適合具有高占空比和嚴格體積限制的高動態(tài)應(yīng)用。
集成的平衡選項可實現(xiàn)垂直方向的操作。
配件和選件
PIglide過濾器和空氣制備套件
垂直安裝的氣動平衡
應(yīng)用領(lǐng)域
線性位移臺非常適合高精度應(yīng)用，例如計量學(xué)，光子學(xué)對準(zhǔn)系統(tǒng)，光學(xué)器件定位和掃描。非接觸式設(shè)計是潔凈室應(yīng)用的理想選擇。電纜未移動。
2.A-110 PIglide LC線性平臺，帶空氣軸承
廉價的高性能納米定位臺
產(chǎn)品總覽
PIglide定位系統(tǒng)具有磁性直線電機，磁性預(yù)加載的空氣軸承和光學(xué)線性編碼器：非接觸和無摩擦運動，可提供最高的準(zhǔn)確性和可靠性
應(yīng)用領(lǐng)域
PIglide定位系統(tǒng)非常適合許多高精度應(yīng)用，例如半導(dǎo)體或平板顯示器制造中的計量，光子學(xué)和精密掃描。
由于無摩擦運動，不會形成任何顆粒，這使PIglide平臺成為潔凈室應(yīng)用的理想選擇。
配件和選件
編碼器
PIglide過濾器和空氣制備套件
單軸和多軸運動控制器
XY設(shè)置和個別配置
用花崗巖制成的底板和減少振動的系統(tǒng)
3.A-141 PIglide MB微型線性平臺，帶空氣軸承
高性能，無塵室兼容，可定制
產(chǎn)品總覽
帶有空氣軸承的PIglide MB線性位移臺配有伺服線性電機驅(qū)動器，該驅(qū)動器帶有預(yù)裝的空氣軸承和集成的光學(xué)線性編碼器。此階段可提供微型格式的超高精度。非接觸組件的組合形成了一個無摩擦運動平臺，該平臺可提供最高的性能，質(zhì)量和使用壽命。
應(yīng)用領(lǐng)域
該載物臺非常適合許多高精度應(yīng)用，例如計量，光子對準(zhǔn)，光學(xué)定位和掃描。非接觸式設(shè)計也是潔凈室應(yīng)用的理想選擇。電纜未移動?？諝廨S承模塊提供鎖定設(shè)計，以實現(xiàn)最高的位置穩(wěn)定性。
配件和選件
PIglide過濾器和空氣制備套件
單軸和多軸運動控制器
用花崗巖制成的底板和減少振動的系統(tǒng)
旋轉(zhuǎn)臺
對旋轉(zhuǎn)運動的要求顯示出范圍很廣的各種尺寸，負載能力和定位精度。PI提供具有各種電動和導(dǎo)向選項的平臺：空氣軸承，扭矩馬達驅(qū)動，蝸輪蝸桿耦合電動，小型壓電馬達平臺以及帶有正交傾斜安裝選項的專用測角儀平臺。它們都可以通過相應(yīng)的線性，垂直和XY平臺安裝到多軸組合上。
1.A-68x PIglide RLA旋轉(zhuǎn)平臺，帶空氣軸承，大孔徑
無摩擦，電動
產(chǎn)品總覽
PIglide RLA系列的直接驅(qū)動平面旋轉(zhuǎn)平臺設(shè)計為具有最高的精度。它們外形小巧，通光孔徑大。RLA位移臺具有出色的行程精度，平坦度和擺動性能。
絕對值編碼器（可選）
絕對值編碼器提供明確的位置信息，從而可以立即確定位置。這意味著在接通過程中不需要引用，從而提高了操作過程中的效率和安全性。
應(yīng)用領(lǐng)域
斷層掃描，束線系統(tǒng)，晶圓計量，晶圓檢查，測量技術(shù)，檢查系統(tǒng)，校準(zhǔn)，掃描。
由于無摩擦運動，不會形成任何顆粒，這使PIglide平臺成為潔凈室應(yīng)用的理想選擇。
三相轉(zhuǎn)矩電機
無刷
低齒槽轉(zhuǎn)矩
配件和選件
增量或絕對編碼器
PIglide過濾器和空氣制備套件
單軸或多軸運動控制器和伺服驅(qū)動器
多軸/自定義設(shè)置
用花崗巖制成的底板和減少振動的系統(tǒng)
2.A-63x PIglide RL帶有空氣軸承的平面旋轉(zhuǎn)平臺
無摩擦，電動
產(chǎn)品總覽
PIglide RL系列的直接驅(qū)動式薄型旋轉(zhuǎn)位移臺采用薄型設(shè)計，可實現(xiàn)最高的精度?？梢越M合使用各種選項，以創(chuàng)建理想的解決方案，以實現(xiàn)點對點索引或恒速掃描。RL位移臺提供卓越的行程精度，平坦度和擺動性能。
絕對值編碼器（可選）
絕對值編碼器提供明確的位置信息，從而可以立即確定位置。這意味著在接通過程中不需要引用，從而提高了操作過程中的效率和安全性。
應(yīng)用領(lǐng)域
光學(xué)對準(zhǔn)，晶圓檢查，晶圓對準(zhǔn)，測量技術(shù)，檢查系統(tǒng)，校準(zhǔn)，掃描。
由于無摩擦運動，不會形成任何顆粒，這使PIglide平臺成為潔凈室應(yīng)用的理想選擇。
三相轉(zhuǎn)矩電機
無刷
無槽
低齒槽轉(zhuǎn)矩
配件和選件
增量或絕對編碼器
真空饋通
在靜止?fàn)顟B(tài)下通過電磁預(yù)載自鎖
根據(jù)要求清除光圈
PIglide過濾器和空氣制備套件
單軸或多軸運動控制器和伺服驅(qū)動器
多軸/自定義設(shè)置
用花崗巖制成的底板和減少振動的系統(tǒng)
應(yīng)用領(lǐng)域
六腳架支持工業(yè)機器人科學(xué)儀器
半導(dǎo)體技術(shù)
顯微鏡檢查
硅光子學(xué)
醫(yī)療技術(shù)
材料研究
機械工業(yè)
自動化
梁線儀器
添加劑制造
主動對準(zhǔn)
Physik Instrumente P-363 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀
客服熱線：
