PI電容傳感器德國(guó)Physik Instrumente

電容（電容式）位移傳感器是測(cè)量、高動(dòng)態(tài)納米計(jì)量器件，可提供高的線性度和精度。PI電容傳感器/信號(hào)調(diào)理器電子元件利用高頻交流激勵(lì)信號(hào)來(lái)增強(qiáng)帶寬和無(wú)漂移測(cè)量穩(wěn)定性（可以在幾個(gè)小時(shí)內(nèi)實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)穩(wěn)定性）。為了提供精度等級(jí)更高、分辨率優(yōu)于一納米的納米定位系統(tǒng)，PI開始開發(fā)電容式位置傳感器件。從那時(shí)起，已經(jīng)制造了數(shù)千個(gè)單探頭和雙探頭傳感器和控制器，用于PI的閉環(huán)壓電定位平臺(tái)和各種定制納米精密測(cè)量應(yīng)用。

PI 優(yōu)勢(shì)：

·         提供單板和雙板傳感器，具有更大的靈活性

·         測(cè)量帶寬高達(dá) 10kHz

·         亞納米級(jí)分辨率

·         提供定制多傳感器電子設(shè)備（模擬和數(shù)字）

·         提供閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制器

·         定制納米精密定位系統(tǒng)，帶集成電容式傳感器

電容式測(cè)距原理

兩種類型的電容式距離傳感器很常見：?jiǎn)坞姌O傳感器和兩電極傳感器。

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雙電極傳感器可以實(shí)現(xiàn)更低的噪聲水平和更高的分辨率。其原理基于兩個(gè)導(dǎo)電表面和高頻（>100kHz）交流電，在它們之間產(chǎn)生均勻的電場(chǎng)。電容與有效表面除以距離成正比。對(duì)于給定區(qū)域，測(cè)量的距離與距離成正比。單電極電容式傳感器的工作原理類似。它們更易于處理，并且可以針對(duì)各種導(dǎo)電表面進(jìn)行測(cè)量。