產品介紹
ADL GG 12.1 Beam
輸出：功率，200W 電壓，2000 V 電流，100 mA
各種特殊設備可用于操作離子源（Kaufmann 和 ECR），也可根據要求提供其他輸出電壓或功率。
所有設備都可選配 AS 4 接口、Profibus、EtherCat 或 RS 232/485。
特點
廣泛用于離子束和等離子工藝技術
蝕刻、濺射等等
創(chuàng)新應用，包括微電子、光學、傳感器
常用型號
ADL GG 03 Accelerator
ADL GG 03.1 Accelerator
ADL GG 08 Accelerator
ADL GG 12 Beam
ADL GG 12.1 Beam
技術數據
顯示 3½ 位數字顯示電流和電壓
調節(jié)電流或電壓調節(jié)
通過前面板或外部通過接口卡的手動操作模式
設定點 0 ... 100% 電流和電壓標稱值
精度 + / - 電流或電壓標稱值的 1%
電源輸入
電源連接 230 V, + / - 10%, 50/60 Hz, PE
風冷一體式風扇，最高環(huán)境溫度40°C
噪聲發(fā)射 LpA <70 dB (A)
機械數據
尺寸（不含連接器） 寬度：218 mm (½ 19")，高度：132.5 mm (3 U)，長度 560 mm
重量（不含包裝） 11 kg
客服熱線：
