IBS光學干涉儀ARINNA AR2
ARINNA能夠測量離散的步高和表面質(zhì)量，垂直分辨率為 <2nm。巨型像素攝像頭可在 1 秒內(nèi)捕獲表面掃描?？捎糜谠诰€缺陷檢測和特征化、光學表面和結(jié)構(gòu)測量、3D表面拓撲測量、MEMS/NEMS 檢測等。
印刷電子生產(chǎn)線- AR5 系統(tǒng)已集成到生產(chǎn)用于汽車應(yīng)用的印刷電子的生產(chǎn)線中。根據(jù)公差值評估 100 納米到 1 微米深度的激光劃線，以控制激光工藝。
AR2
Z 范圍 （μm） 96
李銀
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每次捕獲 FOV （毫米） 2，8 x 2，8。
Z 分辨率 （μm） 0,002
結(jié)果時間（秒） 1，5 （0，9 測量 +0，6 計算）
工作距離（毫米） 34
分辨率為 15kHz 有色 0，007%，有色 0，009%
零/偏移調(diào)整 是的
典型的熱漂移 0，01% F.S.*/C
LED 范圍指示器 是的
其他功能 帶寬：100 赫茲、1 kHz、10 kHz、15 kHz（用戶可選）
客服熱線：
