德國(guó)PI Physik Instrumente F-712.PM1/HA2 光學(xué)功率計(jì)

大量不同的型號(hào)可提供真空版本。多軸組合可通過(guò)轉(zhuǎn)接支架實(shí)現(xiàn)，利用匹配的Z向位移臺(tái)和轉(zhuǎn)臺(tái)還可實(shí)現(xiàn)更加緊湊的結(jié)構(gòu)。

運(yùn)動(dòng)控制器可為臺(tái)式設(shè)備、機(jī)架版本或緊湊型OEM設(shè)備。它們的共同因子是通過(guò)通用指令集（GCS）進(jìn)行指令控制，從而簡(jiǎn)化控制和編程，且不受驅(qū)動(dòng)器類型的限制。

多軸工業(yè)應(yīng)用中帶ACS運(yùn)動(dòng)控制器的多軸系統(tǒng)可供貨。對(duì)于精密和以運(yùn)動(dòng)為中心的工業(yè)應(yīng)用，其可實(shí)現(xiàn)利用現(xiàn)場(chǎng)總線接口進(jìn)行簡(jiǎn)易集成。

F-712.PM1 光學(xué)功率計(jì)

非常適用于硅光子學(xué)中的應(yīng)用

§ 高動(dòng)態(tài)范圍

§ 波長(zhǎng)范圍為400至1550納米

§ 靈活的電流輸入范圍達(dá)1毫安

§ 對(duì)數(shù)輸出

產(chǎn)品概述

這款光學(xué)功率計(jì)可將光信號(hào)轉(zhuǎn)換成分辨率高、帶寬極大的電壓信號(hào)。光輸入設(shè)計(jì)使得光信號(hào)的測(cè)量不受連接器中光纖位置的限制。

設(shè)備還具有電流輸入。例如，光電二極管可與該輸入連接，使二極管電流轉(zhuǎn)換成對(duì)數(shù)電壓信號(hào)。輸入間的切換通過(guò)按鍵完成，且當(dāng)電流輸入被啟用時(shí)，LED指示燈將點(diǎn)亮。光學(xué)功率計(jì)的大波長(zhǎng)范圍使其能在可見(jiàn)光和紅外光范圍內(nèi)工作，無(wú)需切換。精確的對(duì)數(shù)輸出信號(hào)是光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的理想選擇。因此，光學(xué)功率計(jì)可適用于市面上最快速的全自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。

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F-712.PM1

光學(xué)功率計(jì)，波長(zhǎng)范圍為400- 1550納米，輸入電流達(dá)1毫安，信號(hào)帶寬為20千赫茲，對(duì)數(shù)輸出為±5伏，臺(tái)式設(shè)備，包含電源適配器

F-712.HA2高精度雙面光纖對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

用于對(duì)準(zhǔn)光纖和光學(xué)元件的6自由度系統(tǒng)

用于光纖對(duì)準(zhǔn)的集成掃描程序

豐富的軟件包

位置傳感器具有高精度和運(yùn)行可靠性

非常適合硅光子學(xué)應(yīng)用

直接檢測(cè)光信號(hào)

幾根光纖自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)<0.5s

快速和高精度驅(qū)動(dòng)器

光纖對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的基礎(chǔ)是非常堅(jiān)硬的設(shè)置，配有H-811六足機(jī)和P-616NanoCube®納米定位儀。 用于自由度運(yùn)動(dòng)的平行運(yùn)動(dòng)學(xué)設(shè)計(jì)確保了高系統(tǒng)剛度。 電動(dòng)驅(qū)動(dòng)器可實(shí)現(xiàn)更長(zhǎng)的行程范圍，同時(shí)，NanoCube®納米定位器可確?？焖賿呙柽\(yùn)動(dòng)和漂移效果的動(dòng)態(tài)補(bǔ)償。 柔性導(dǎo)軌和全陶瓷絕緣PICMA®執(zhí)行器可確保較長(zhǎng)的使用壽命。 因?yàn)樗序?qū)動(dòng)器都配備有位置傳感器，所以例如可以可靠地防止與昂貴的硅晶片的碰撞。

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動(dòng)器長(zhǎng)達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無(wú)故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來(lái)高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無(wú)需維護(hù)、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤(rùn)滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

并聯(lián)位置測(cè)量實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的高跟蹤精度

各自由度均相對(duì)于單一固定參考進(jìn)行了測(cè)量。對(duì)其他軸的不良運(yùn)動(dòng)串?dāng)_均可得到實(shí)時(shí)主動(dòng)補(bǔ)償（取決于帶寬）（主動(dòng)導(dǎo)向）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達(dá)納米級(jí)。

訂購(gòu)信息

 

P-517.2CL

精密XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100微米，電容傳感器，平行計(jì)量，LEMO連接器

 

P-517.2CD

精密XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100微米，電容傳感器，平行計(jì)量，Sub-D連接器

 

P-527.2CL

精密XY向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米，電容傳感器，平行計(jì)量，LEMO連接器

 

P-527.2CD

精密XY向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米，電容傳感器，平行計(jì)量，Sub-D連接器

 

P-517.3CL

精密XYZ向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米 × 20 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計(jì)量

 

P-517.3CD

精密XYZ向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米 × 20 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計(jì)量

 

P-527.3CL

精密XYZ向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米 × 20 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計(jì)量

 

P-527.3CD

精密XYZ向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米 × 20 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計(jì)量

 

P-517.RCD

精密XY向/旋轉(zhuǎn)納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米，2 毫弧度，電容傳感器，平行計(jì)量，Sub-D連接器

 

P-527.RCD

精密XY向/旋轉(zhuǎn)納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米，4 毫弧度，電容傳感器，平行計(jì)量，Sub-D連接器

P-561 • P-562 • P-563 PIMars納米定位平臺(tái)

用于多達(dá)3軸的高精度納米定位系統(tǒng)

 

 

§ 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)時(shí)間和更高的 多軸精度

§ 行程達(dá)300 × 300 × 300微米

§ 電容式傳感器帶來(lái)最高線性度

§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)

§ 優(yōu)異的掃描平面度

§ 高動(dòng)態(tài)XYZ版本

§ 通孔尺寸66 毫米×66毫米

§ PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽 命

§ 超高真空版本達(dá)10-9百帕

 

描述

應(yīng)用領(lǐng)域

·         掃描顯微鏡

·         掩模/晶圓定位

·         干涉測(cè)量

·         測(cè)量技術(shù)

·         生物技術(shù)

·         掃描和篩選

帶電容式傳感器，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量，且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動(dòng)配置和快速部件更換

機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲(chǔ)在機(jī)械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動(dòng)時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能就會(huì)使用這些數(shù)據(jù)。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無(wú)需潤(rùn)滑劑或潤(rùn)滑脂。無(wú)聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動(dòng)器長(zhǎng)達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無(wú)故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來(lái)高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無(wú)需維護(hù)、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤(rùn)滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

并聯(lián)位置測(cè)量實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的高跟蹤精度

各自由度均相對(duì)于單一固定參考進(jìn)行了測(cè)量。對(duì)其他軸的不良運(yùn)動(dòng)串?dāng)_均可得到實(shí)時(shí)主動(dòng)補(bǔ)償（取決于帶寬）（主動(dòng)導(dǎo)向）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達(dá)納米級(jí)。

訂購(gòu)信息

P-561.3CD

具有長(zhǎng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米 × 100 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計(jì)量

 

P-561.3CL

具有長(zhǎng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米 × 100 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計(jì)量

 

P-561.3DD

PIMars高動(dòng)態(tài)XYZ向納米定位系統(tǒng)，45 微米 × 45 微米 × 15 微米，電容傳感器，平行計(jì)量，Sub-D連接器，直接驅(qū)動(dòng)

 

P-562.3CD

具有長(zhǎng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米 × 200 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計(jì)量

 

P-562.3CL

具有長(zhǎng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米 × 200 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計(jì)量

 

P-563.3CD

具有長(zhǎng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng)，300 微米 × 300 微米 × 300 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計(jì)量

 

P-563.3CL

具有長(zhǎng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng)，300 微米 × 300 微米 × 300 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平