| 品牌Physik Instrumente | 有效期至長(zhǎng)期有效 | 最后更新2021-11-15 15:28 |
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2軸和3軸版本（XY和XYθZ型）
§ 行程達(dá)200 微米
§ 亞納米級(jí)分辨率
· 計(jì)量
· 干涉測(cè)量
· 光子學(xué)/集成光學(xué)
· 平版印刷術(shù)
· 納米定位
· 掃描顯微鏡
· 樣本對(duì)準(zhǔn)
· 微加工
電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量，且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。
機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲(chǔ)在機(jī)械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動(dòng)時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能就會(huì)使用這些數(shù)據(jù)。
專利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動(dòng)器長(zhǎng)達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無(wú)故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。
柔性鉸鏈導(dǎo)向無(wú)需維護(hù)、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤(rùn)滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。
各自由度均相對(duì)于單一固定參考進(jìn)行了測(cè)量。對(duì)其他軸的不良運(yùn)動(dòng)串?dāng)_均可得到實(shí)時(shí)主動(dòng)補(bǔ)償（取決于帶寬）（主動(dòng)導(dǎo)向）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達(dá)納米級(jí)。
訂購(gòu)信息
P-517.2CL
精密XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100微米，電容傳感器，平行計(jì)量，LEMO連接器
P-517.2CD
精密XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100微米，電容傳感器，平行計(jì)量，Sub-D連接器
P-527.2CL
精密XY向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米，電容傳感器，平行計(jì)量，LEMO連接器
P-527.2CD
精密XY向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米，電容傳感器，平行計(jì)量，Sub-D連接器
P-517.3CL
精密XYZ向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米 × 20 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計(jì)量
P-517.3CD
精密XYZ向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米 × 20 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計(jì)量
P-527.3CL
精密XYZ向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米 × 20 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計(jì)量
P-527.3CD
精密XYZ向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米 × 20 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計(jì)量
P-517.RCD
精密XY向/旋轉(zhuǎn)納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米，2 毫弧度，電容傳感器，平行計(jì)量，Sub-D連接器
P-527.RCD
精密XY向/旋轉(zhuǎn)納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米，4 毫弧度，電容傳感器，平行計(jì)量，Sub-D連接器
P-561 • P-562 • P-563 PIMars納米定位平臺(tái)
用于多達(dá)3軸的高精度納米定位系統(tǒng)
§ 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)時(shí)間和更高的 多軸精度
§ 行程達(dá)300 × 300 × 300微米
§ 電容式傳感器帶來(lái)最高線性度
§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)
§ 優(yōu)異的掃描平面度
§ 高動(dòng)態(tài)XYZ版本
§ 通孔尺寸66 毫米×66毫米
§ PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽 命
§ 超高真空版本達(dá)10-9百帕
· 掃描顯微鏡
· 掩模/晶圓定位
· 干涉測(cè)量
· 測(cè)量技術(shù)
· 生物技術(shù)
· 掃描和篩選
電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量，且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。
機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲(chǔ)在機(jī)械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動(dòng)時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能就會(huì)使用這些數(shù)據(jù)。
壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無(wú)需潤(rùn)滑劑或潤(rùn)滑脂。無(wú)聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。
專利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動(dòng)器長(zhǎng)達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無(wú)故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。
柔性鉸鏈導(dǎo)向無(wú)需維護(hù)、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤(rùn)滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。
各自由度均相對(duì)于單一固定參考進(jìn)行了測(cè)量。對(duì)其他軸的不良運(yùn)動(dòng)串?dāng)_均可得到實(shí)時(shí)主動(dòng)補(bǔ)償（取決于帶寬）（主動(dòng)導(dǎo)向）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達(dá)納米級(jí)。
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P-561.3CD
具有長(zhǎng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米 × 100 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計(jì)量
P-561.3CL
具有長(zhǎng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米 × 100 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計(jì)量
P-561.3DD
PIMars高動(dòng)態(tài)XYZ向納米定位系統(tǒng)，45 微米 × 45 微米 × 15 微米，電容傳感器，平行計(jì)量，Sub-D連接器，直接驅(qū)動(dòng)
P-562.3CD
具有長(zhǎng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米 × 200 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計(jì)量
P-562.3CL
具有長(zhǎng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米 × 200 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計(jì)量
P-563.3CD
具有長(zhǎng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng)，300 微米 × 300 微米 × 300 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計(jì)量
P-563.3CL
具有長(zhǎng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統(tǒng)，300 微米 × 300 微米 × 300 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平
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