Physik Instrumente PI 不僅開發(fā)并生產(chǎn)廣泛的定位階段和執(zhí)行器，用于線性、旋轉(zhuǎn)和垂直運(yùn)動(dòng)或不同軸的組合。PI 還將這些解決方案適應(yīng)客戶特定的應(yīng)用或?yàn)檫\(yùn)動(dòng)和定位提供成品子系統(tǒng)。
控制是一個(gè)重要的系統(tǒng)組件，也由 PI 提供。這不僅提供了復(fù)雜的控制概念，而且還為應(yīng)用環(huán)境提供了硬件和軟件界面。
PI 的 Pizo 柔性階段結(jié)合了亞納米分辨率和引導(dǎo)精度與最小相聲。這使得它們特別適合在計(jì)量學(xué)、超分辨率顯微鏡、干涉測(cè)量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)的檢測(cè)系統(tǒng)中的應(yīng)用。Piezo 柔性階段可用于毫秒沉降精度定位和動(dòng)態(tài)掃描，最高可達(dá) 6 度的 100 赫茲。
專有傳感器設(shè)計(jì)、無摩擦柔韌導(dǎo)引和長(zhǎng)壽命 PICMA Piezo 執(zhí)行器的獨(dú)特組合造就了卓越而堅(jiān)固的力學(xué)。Piezo 運(yùn)動(dòng)控制器支持定位和掃描性能優(yōu)化，并且輕松集成到數(shù)字或模擬界面和舒適的編程中。
Physik Instrumente P-616 納米立方體納米定位器®
用于納米定位和光纖對(duì)齊的緊湊型并行運(yùn)動(dòng)皮耶佐系統(tǒng)
所有空間方向最高剛度的平行運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)
高共振頻率導(dǎo)致的高動(dòng)態(tài)運(yùn)動(dòng)，即使負(fù)載高達(dá) 100 g
由于單一安裝平臺(tái)，創(chuàng)新產(chǎn)品設(shè)計(jì)，可靈活使用。
市場(chǎng)上只有具有 ID 芯片功能的納米定位器
最小和最輕的納米立方體®，市場(chǎng)上有 100 μm 旅行范圍。
應(yīng)用領(lǐng)域
光纖定位和對(duì)齊
掃描顯微鏡
2光子聚合
納米技術(shù)和納米制造
光子學(xué) / 集成光學(xué)
微操縱
示例定位
Physik Instrumente P-611.3 納米立方體 XYZ 皮耶佐系統(tǒng)®
用于納米定位和光纖對(duì)齊的緊湊型多軸 Piezo 系統(tǒng)
應(yīng)用領(lǐng)域
光子學(xué) / 集成光學(xué)
微操縱
生物工藝學(xué)
半導(dǎo)體測(cè)試
光纖定位
Physik Instrumente (PI)P-611XZ = P-611.2 XZ 和 XYZ 納米定位器
用于納米定位的緊湊型雙軸皮耶佐系統(tǒng)
干涉
顯微術(shù)
納米定位
生物工藝學(xué)
測(cè)試程序和質(zhì)量保證
光子
光纖定位
半導(dǎo)體技術(shù)
E-664 納米立方體皮耶佐控制器®用于 P-611.3S XYZ-納米定位系統(tǒng)
峰值功率 3 × 14 W
位置控制與一個(gè)檔次過濾器為更高的帶寬和穩(wěn)定性電壓/位置指示器
P-611.3S 納米立方體®納米定位系統(tǒng)的廉價(jià)控制器
611.3S 的 Piezo 放大器和伺服控制器
Physik Instrumente (PI)E-664Piezo 放大器和伺服控制器特別適合 P-611.3S 納米立方體® XYZ 納米定位系統(tǒng)的操作要求。三個(gè)功能強(qiáng)大、噪音低的 Piezo 放大器和帶高分辨率應(yīng)變量表傳感器的儀器放大器的控制電子元件允許位置分辨率高達(dá) 2 nm 以及動(dòng)態(tài)操作。
Physik Instrumente (PI)E-664 控制器和 P-611.3S 納米立方體的結(jié)合®使其成為一個(gè)價(jià)格低廉的三維納米定位系統(tǒng)。
Physik Instrumente系列產(chǎn)品
韓麗萍
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