德國PI 壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)P-612.2 XY

P-612.2 XY壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)

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結(jié)構(gòu)緊湊，帶孔徑

P-612.2

§ 結(jié)構(gòu)緊湊：表面60毫米×60毫米

§ 100微米×100微米閉環(huán)行程（130微米×1 30微米，開環(huán)）

§ 用于成本關(guān)鍵型應(yīng)用

§ 通孔尺寸20毫米×20毫米

§ 并聯(lián)運(yùn)動實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)時間和更高的 多軸精度

§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命

§ 也可提供緊湊型版本

應(yīng)用領(lǐng)域

·         掃描顯微鏡

·         高吞吐量顯微鏡

·         超分辨率顯微鏡

·         掩模/晶圓定位

·         干涉測量

·         測量技術(shù)

·         生物技術(shù)

·         顯微操縱

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動器長達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無故障運(yùn)行1000億個循環(huán)。

訂購信息

P-612.20L

XY向納米定位系統(tǒng)，130微米 × 130微米，孔徑為20毫米 × 20毫米，開環(huán)

P-612.2SL

XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，孔徑為20毫米 × 20毫米，應(yīng)變片傳感器

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德國PI 壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)P-612.2 XY