PI (Physik Instrumente)壓電陶瓷納米定位器P-733.2 XY

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P-733.2 XY壓電陶瓷納米定位器

具有孔徑的高精度XY掃描儀

P-733.2

§ X和Y向上的行程達(dá)100微米×100微米

§ 電容式傳感器使分辨率達(dá)0.1納米

§ 帶直接驅(qū)動(dòng)器的高速版本

§ 可提供真空兼容和非磁性版本

§ 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更高精度和動(dòng)態(tài)

§ 導(dǎo)向誤差主動(dòng)補(bǔ)償?shù)牟⑿杏?jì)量

§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)

§ 50毫米×50毫米的通光孔徑用于透射光 應(yīng)用

應(yīng)用領(lǐng)域

·         掃描顯微鏡

·         共聚焦顯微鏡

·         掩模/晶圓定位

·         表面測(cè)量技術(shù)

·         納米壓印

·         顯微操縱

·         圖像處理/穩(wěn)定

·         高運(yùn)動(dòng)平面度和直線度的納米定位

帶電容式傳感器，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動(dòng)配置和快速部件更換

機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲(chǔ)在機(jī)械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動(dòng)時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能就會(huì)使用這些數(shù)據(jù)。

并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)多軸操作

在并聯(lián)多軸系統(tǒng)中，所有促動(dòng)器作用于同一個(gè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。所有軸具有最小的質(zhì)量慣性和相同的設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)快速、動(dòng)態(tài)和精密的運(yùn)動(dòng)。

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來超長(zhǎng)使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動(dòng)器長(zhǎng)達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤(rùn)滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

直接位置測(cè)量帶來最大精度

運(yùn)動(dòng)直接在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上測(cè)量，完全不受驅(qū)動(dòng)或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實(shí)現(xiàn)最佳的重復(fù)精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)控制。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤(rùn)滑劑或潤(rùn)滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。

訂購(gòu)信息

帶直接驅(qū)動(dòng)器

P-733.2DD

高動(dòng)態(tài)精密XY向納米定位系統(tǒng)，30 微米 × 30 微米，直接驅(qū)動(dòng)，電容傳感器，平行計(jì)量，Sub-D連接器

帶Sub-D連接器（公頭）的版本

P-733.2CD

精密XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米，電容傳感器，平行計(jì)量，Sub-D連接器

帶LEMO連接器的版本

P-733.2CL

精密XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米，電容傳感器，平行計(jì)量，LEMO連接器

配件

P-733.AP1 接裝板用于將P-733 壓電工作臺(tái)安裝在M-545 XY位移平臺(tái)上

線性定位器，真空兼容達(dá)10-9百帕

P-733.2VL

精密XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，電容傳感器，平行計(jì)量，LEMO連接器，真空兼容至10-6百帕

P-733.2VD

精密XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，電容傳感器，平行計(jì)量，Sub-D連接器，真空兼容至10-6百帕

P-733.2UD

精密XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，電容傳感器，平行計(jì)量，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕

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