PI (Physik Instrumente)P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向壓電工作臺(tái)

P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向壓電工作臺(tái)

行程可變的高精度XY向納米定位器

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P-620.2 – P-629.2

§ 行程為50至1800微米

§ 分辨率達(dá)0.1納米

§ 定位精度 0.02 %

§ 帶電容式傳感器的直接計(jì)量

§ X、XY、Z和XYZ型

應(yīng)用領(lǐng)域

·         干涉測量

·         顯微鏡

·         納米定位

·         生物技術(shù)

·         測試程序和質(zhì)量保證

·         光子

·         光纖定位

·         半導(dǎo)體技術(shù)

帶電容式傳感器，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

直接位置測量帶來最大精度

運(yùn)動(dòng)直接在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上測量，完全不受驅(qū)動(dòng)或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實(shí)現(xiàn)最佳的重復(fù)精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)控制。

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動(dòng)器長達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。

訂購信息

帶Sub-D連接器（公頭）的版本

P-620.2CD

精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，50微米 × 50微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-621.2CD

精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-622.2CD

精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，250微米 × 250微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-625.2CD

精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，500微米 × 500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-628.2CD

精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，800微米 × 800微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-629.2CD

精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，1500微米 × 1500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

帶LEMO連接器的版本

P-620.2CL

精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，50微米 × 50微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-621.2CL

精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-622.2CL

精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，250微米 × 250微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-625.2CL

精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，500微米 × 500微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-628.2CL

精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，800微米 × 800微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-629.2CL

精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，1500微米 × 1500微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

不帶位置傳感器的線性定位器

P-620.20L

精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，60微米 × 60微米，不帶傳感器，LEMO連接器

P-621.20L

精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，120微米 × 120微米，不帶傳感器，LEMO連接器

P-622.20L

精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，300微米 × 300微米，不帶傳感器，LEMO連接器

P-625.20L

精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，600微米 × 600微米，不帶傳感器，LEMO連接器

P-628.20L

精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，1000微米 × 1000微米，不帶傳感器，LEMO連接器

P-629.20L

精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，1800微米 × 1800微米，不帶傳感器，LEMO連接器

線性定位器，真空兼容達(dá)10-9百帕

P-620.2UD

精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，50微米 × 50微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

P-621.2UD

精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

P-622.2UD

精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，250微米 × 250微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

P-625.2UD

精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，500微米 × 500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

P-628.2UD

精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，800微米 × 800微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

P-629.2UD

精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，1500微米 × 1500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10- 9百帕

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