德國PI 納米定位器P-611.XZ ? P-611.2 XZ和XYZ向

德國PI 納米定位器P-611.XZ • P-611.2 XZ和XYZ向



       P-611.XZ • P-611.2 XZ和XYZ向納米定位器

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用于納米定位的緊湊型雙軸壓電陶瓷系統(tǒng)

P-611.XZ • P-611.2

§ 結(jié)構(gòu)緊湊：表面44 毫米×44 毫米

§ 行程達120 微米×120微米

§ 分辨率達0.2納米

§ 極其經(jīng)濟實惠的系統(tǒng)（機械部件和控制 器）

§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統(tǒng) § PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命

§ 也可提供線性和Z向位移臺以及XYZ版本

應用領域

·         干涉測量

·         顯微鏡

·         納米定位

·         生物技術(shù)

·         測試程序和質(zhì)量保證

·         光子

·         光纖定位

·         半導體技術(shù)

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現(xiàn)無故障運行1000億個循環(huán)。

訂購信息

P-611.2S

XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，應變片傳感器 P-611.20 XY向納米定位系統(tǒng)，120微米 × 120微米，不帶傳感器

P-611.XZS

XZ向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，應變片傳感器

P-611.XZ0

XZ向納米定位系統(tǒng)，120微米 × 120微米，不帶傳感器

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