| 品牌德國PI | 有效期至長期有效 | 最后更新2022-01-19 11:53 |
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P-562.6CD PIMars六軸壓電平臺系統(tǒng)
六自由度高精度納米定位系統(tǒng)
| 楊文輝 QQ：2850590598 手機：18301216381 電話：010-64717020-118 傳真：010-84786709-666 郵件：sales11@handelsen.cn |
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§ 6個運動軸：3個為線性，3個為旋轉
§ 行程達200微米（線性）和1毫弧度（偏 擺角）
§ 并聯(lián)運動實現(xiàn)更快的響應時間和更高的 多軸精度
§ 電容式傳感器帶來最高線性度
§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統(tǒng)
§ 優(yōu)異的掃描平面度
§ 通孔尺寸66 毫米×66 毫米
§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命
§ 超高真空兼容至10-9百帕
· 掃描顯微鏡
· 超分辨率顯微鏡
· 生物技術
· 掩模/晶圓定位
· 樣本定位
· 干涉測量
· 計量
電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。
各自由度均相對于單一固定參考進行了測量。對其他軸的不良運動串擾均可得到實時主動補償（取決于帶寬）（主動導向）。即使在動態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達納米級。
專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現(xiàn)無故障運行1000億個循環(huán)。
柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。
壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實現(xiàn)極低的排氣率。
訂購信息
P-562.6CD PIMars6軸納米定位系統(tǒng)，200微米，1毫弧度，平行計量
可按需提供其他行程。
P-587 六軸精密壓電平臺
長行程，直接位置測量
§ 用于X、Y、Z、θX、θY、θZ向上的定位和 掃描
§ 線性行程為800 微米×800 微米×200 微米
§ 最大旋轉角度達1微弧度
§ 并聯(lián)運動實現(xiàn)更快的響應時間和更高的 多軸精度
§ 電容式傳感器帶來最高線性度
§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命
§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統(tǒng)
§ 六 自由度主動補償
· 干涉測量
· 計量
· 納米壓印
· 半導體測試
· 半導體制造
電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。
機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲在機械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當控制器啟動時，數(shù)字控制器的自動校準功能就會使用這些數(shù)據(jù)。
壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實現(xiàn)極低的排氣率。
專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現(xiàn)無故障運行1000億個循環(huán)。
柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。
運動直接在運動平臺上測量，完全不受驅動或導向元件的影響。這樣可以實現(xiàn)最佳的重復精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應控制。
訂購信息
P-587.6CD
帶長行程的六軸納米定位系統(tǒng)，800微米 × 800微米 × 200微米，±0.5毫弧度，平行計量，電容傳感器
工作日
9:00-18:00
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