帶空氣軸承的PIglide RL薄型旋轉(zhuǎn)平臺(tái).

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PIglide RL系列的直接驅(qū)動(dòng)式薄型旋轉(zhuǎn)平臺(tái)采用薄型設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)最高的精度。

可以組合各種選項(xiàng)來創(chuàng)建理想的解決方案，以實(shí)現(xiàn)點(diǎn)對點(diǎn)索引或恒速掃描。

RL位移臺(tái)提供卓越的行程精度，平坦度和擺動(dòng)性能。

A-63x

?200毫米或300毫米運(yùn)動(dòng)平臺(tái)直徑

?薄型，60毫米

?偏心和平整度<100 nm

?靜止時(shí)可以通過磁性預(yù)載自鎖

三相扭矩電動(dòng)機(jī)

?無刷

?無插槽

?低齒槽轉(zhuǎn)矩

絕對編碼器（可選）

絕對值編碼器提供明確的位置信息，可立即確定位置。 這意味著在接通過程中不需要引用，從而提高了操作期間的效率和安全性。

配件和選件

?增量或絕對編碼器

?真空穿通

?在靜止?fàn)顟B(tài)下通過電磁預(yù)載自鎖

?PIglide過濾器和空氣制備套件

?單軸或多軸運(yùn)動(dòng)控制器和伺服驅(qū)動(dòng)器

?多軸/定制設(shè)計(jì)

?由花崗巖制成的底板和減少振動(dòng)的系統(tǒng)

應(yīng)用領(lǐng)域

光學(xué)對準(zhǔn)，晶片檢查，晶片對準(zhǔn)，測量技術(shù)，檢查系統(tǒng)，校準(zhǔn)，掃描。

由于無摩擦運(yùn)動(dòng)，不會(huì)形成任何顆粒，這使PIglide工作臺(tái)非常適合無塵室應(yīng)用。

訂購信息：

A-635.A100

PIglide RL旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，空氣軸承，200 mm運(yùn)動(dòng)平臺(tái)直徑，低高度，帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)慕嵌葴y量系統(tǒng)，31488線/轉(zhuǎn)，無槽，無刷三相扭矩電動(dòng)機(jī)

A-635.B100

PIglide RL旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，空氣軸承，200 mm運(yùn)動(dòng)平臺(tái)直徑，低高度，帶BiSS-C信號(hào)傳輸?shù)慕^對角度測量系統(tǒng)，傳感器分辨率為0.0015μrad，無槽，無刷三相扭矩電動(dòng)機(jī)

A-637.A100

PIglide RL旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，空氣軸承，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)直徑300 mm，低高度，帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)慕嵌葴y量系統(tǒng)，47200線/轉(zhuǎn)，無槽，無刷三相扭矩電動(dòng)機(jī)

A-637.B100

PIglide RL旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，空氣軸承，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)直徑300 mm，低高度，帶BiSS-C信號(hào)傳輸?shù)慕^對角度測量系統(tǒng)，傳感器分辨率為0.0015μrad，無槽，無刷三相扭矩電動(dòng)機(jī)