E-536 PicoCube壓電陶瓷控制器 參數(shù)說明 德國PI

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E-536 PicoCube壓電陶瓷控制器

在多達三軸內(nèi)具有高動態(tài)和高分辨率

§ 用于P-363PicoCube系統(tǒng)

§ 峰值功率3×100瓦

§ 噪聲特別小               

§ 變體：高動態(tài)和高分辨率

§ 輸出電壓±250伏

兩種變體中的PicoCube控制器

E-536PicoCube控制器具有三個超低噪聲放大器通道，用于高壓切變促動器。控制器特別設(shè)計用于滿足超快速和高分辨率PicoCubeXY(Z)壓電陶瓷掃描器的要求。E-536提供兩種變體，用于-250至+250伏的電壓范圍，允許在靜態(tài)和動態(tài)應(yīng)用中使用。E-536.3x具有最優(yōu)性能，適用于特別動態(tài)的應(yīng)用，可在僅10千赫茲的小信號帶寬內(nèi)輸出200毫安的峰值電流。E-536.3xH型號變體的分辨率已經(jīng)過優(yōu)化，在高達50瓦的峰值功率時可實現(xiàn)PicoCube低于0.03納米的位置分辨率。兩種變體均可用于閉環(huán)和開環(huán)操作。

電容式傳感器帶來更高精度

E-536.3C版本具有集成式傳感器/伺服控制器，用于閉環(huán)操作。位置是通過配備電容式傳感器的PicoCube納米定位系統(tǒng)等來實現(xiàn)的，傳感器可達到0.1納米的分辨率。

應(yīng)用領(lǐng)域

·         掃描探針顯微鏡

·         原子力顯微鏡

·         掃描和篩選

高動態(tài)和最高分辨率

開環(huán)操作特別適用于響應(yīng)時間短、分辨率特別高的應(yīng)用。絕對值形式的位置反饋規(guī)格要么不重要，要么是通過外部傳感器實現(xiàn)，如同原子力顯微鏡中的情況。P-363PicoCube可實現(xiàn)0.05納米或更佳的分辨率。

計算機控制

供選配的E-518接口模塊可通過數(shù)字PC接口實現(xiàn)控制和位置控制。

訂購信息

E-536.3C PicoCube

壓電式控制器，3個通道，電容傳感器， E-536.30 PicoCube 壓電式控制器，3個通道，開環(huán)

E-536.3CH PicoCube

壓電式控制器，3個通道，高分辨率，電容傳感器

E-536.30H PicoCube

壓電式控制器，3個通道，高分辨率，開環(huán)