PI A-123 帶空氣軸承的PIglideAT3線性平臺(tái)

高性能納米級(jí)定位平臺(tái)

掃描應(yīng)用的完美選擇或精密定位

運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的尺寸210 毫米×210 毫米

分辨率達(dá)1納米

無(wú)塵室兼容

行程50 毫米至750 毫米

產(chǎn)品概述

PIglide系列平臺(tái)配備伺服驅(qū)動(dòng)器線性電機(jī)，電機(jī)配置帶預(yù)載的空氣軸承和集成線性編碼器。這類非接觸式零件的組合形成了一個(gè)無(wú)摩擦運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，可提供最高的性能、質(zhì)量和使用壽命。

高推動(dòng)力線性電機(jī)可以在幾毫秒內(nèi)將平臺(tái)驅(qū)動(dòng)至最高速度，高承載能力軸承可支承重達(dá)60 公斤的有效載荷。該型號(hào)中的側(cè)面相對(duì)、主動(dòng)預(yù)載空氣軸承設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)任意方向上的安裝。

應(yīng)用領(lǐng)域

PIglide定位系統(tǒng)非常適用于高精度應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體或平板顯示器制造中的計(jì)量、光子學(xué)和精密掃描。

由于運(yùn)動(dòng)無(wú)摩擦，不會(huì)形成顆粒，PIglide平臺(tái)非常適用于無(wú)塵室應(yīng)用。

附件和可選配件

編碼器

PIglide過(guò)濾器和空氣預(yù)處理器

單軸和多軸運(yùn)動(dòng)控制器

XY裝置和個(gè)性化配置

電纜軌道變型

用于垂直（Z）方向的配重選項(xiàng)

可提供定制版

花崗巖底座板和隔振系統(tǒng)

訂購(gòu)信息

A-123.050A1 PIglideAT3線性平臺(tái)，空氣軸承，50毫米行程，增量帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)木€性編碼器，20微米傳感器信號(hào)周期，無(wú) 鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

A-123.050B1 PIglideAT3線性平臺(tái)，空氣軸承，50毫米行程，帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)慕^對(duì)線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無(wú)鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

A-123.100A1 PIglideAT3線性平臺(tái)，空氣軸承，100毫米行程，增量帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)木€性編碼器，20微米傳感器信號(hào)周期， 無(wú)鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

A-123.100B1 PIglideAT3線性平臺(tái)，空氣軸承，100毫米行程，帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)慕^對(duì)線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無(wú)鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

A-123.150A1 PIglideAT3線性平臺(tái)，空氣軸承，150毫米行程，增量帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)木€性編碼器，20微米傳感器信號(hào)周期， 無(wú)鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

A-123.150B1 PIglideAT3線性平臺(tái)，空氣軸承，150毫米行程，帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)慕^對(duì)線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無(wú)鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

A-123.200A1 PIglideAT3線性平臺(tái)，空氣軸承，200毫米行程，增量帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)木€性編碼器，20微米傳感器信號(hào)周期， 無(wú)鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

A-123.200B1 PIglideAT3線性平臺(tái)，空氣軸承，200毫米行程，帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)慕^對(duì)線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無(wú)鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

A-123.350A1 PIglideAT3線性平臺(tái)，空氣軸承，350毫米行程，增量帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)木€性編碼器，20微米傳感器信號(hào)周期， 無(wú)鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

A-123.350B1 PIglideAT3線性平臺(tái)，空氣軸承，350毫米行程，帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)慕^對(duì)線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無(wú)鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

A-123.500A1 PIglideAT3線性平臺(tái)，空氣軸承，500毫米行程，增量帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)木€性編碼器，20微米傳感器信號(hào)周期， 無(wú)鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

A-123.500B1 PIglideAT3線性平臺(tái)，空氣軸承，500毫米行程，帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)慕^對(duì)線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無(wú)鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

A-123.750A1 PIglideAT3線性平臺(tái)，空氣軸承，750毫米行程，增量帶正弦/余弦信號(hào)傳輸?shù)木€性編碼器，20微米傳感器信號(hào)周期， 無(wú)鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

A-123.750B1 PIglideAT3線性平臺(tái)，空氣軸承，750毫米行程，帶BiSSC信號(hào)傳輸?shù)慕^對(duì)線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無(wú)鐵芯三相線性電機(jī)，48伏

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