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PI V-817線性平臺系列工業(yè)精密

    

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品牌PI 有效期至長期有效 最后更新2021-03-03 16:50
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PI V-817線性平臺系列工業(yè)精密

 PI V-817線性平臺系列工業(yè)精密
PI (Physik Instrumente)通過新的V-817高負(fù)載線性平臺系列擴大了其產(chǎn)品組合。從而PI為半導(dǎo)體、電子和激光行業(yè)中高度動態(tài)和精密的加工、測試和檢驗任務(wù)的定位解決方案設(shè)定了一個性價比良好的新市場水準(zhǔn)。V-817系列適用于傳感器和相機定位、激光焊接、光學(xué)和觸覺測試程序以及晶圓加工和檢驗等應(yīng)用。
 
V-817線性平臺專為具有高運行周期的工業(yè)應(yīng)用而設(shè)計:帶有循環(huán)滾珠軸承導(dǎo)軌的三相線性電機可以使恒定負(fù)載達(dá)到600牛,速度達(dá)到3000毫米/秒。
此外,分辨率高達(dá)0.3納米的增量式線性編碼器確保了高路徑精度、較小的跟蹤誤差和短穩(wěn)定時間。PI V-817線性平臺吳亞男線性平臺校準(zhǔn)后的定位精度高達(dá)±2.5微米。行程擴展到813毫米。
德國PI位移平臺
靈活組合,輕松實現(xiàn)機器集成
 
對于多軸應(yīng)用,線性平臺可以很容易地組合到XY組件上。這些軸可以單獨組裝,這是由于可選購的運動平臺和三重M6孔型。在沒有運動平臺的情況下,線性平臺的高度只有63毫米。由于這種節(jié)省空間的特性,它們可以作為單個軸或作為XY組合集成在緊湊型機器組件中。由于采用扁平設(shè)計,移動質(zhì)量和傾斜誤差都降到超低水平。
這些線性平臺適合在干凈的工作環(huán)境中使用,因為它們的運動不會松動任何顆粒。PI V-817線性平臺吳亞男由于特殊成形的邊緣與導(dǎo)軌或運動方向的平行度(//)優(yōu)于30微米,因此在安裝期間可以輕松快速地對齊線性平臺。具有高IP防護等級的工業(yè)兼容連接器可提供安全的連接。
 
適合工業(yè)的控制解決方案
 
對于V-817線性平臺的控制,PI提供了G-901電子解決方案,該解決方案結(jié)合了ACS運動控制器、多達(dá)四個軸的驅(qū)動器以及集成的STO(安全轉(zhuǎn)矩關(guān)閉)模塊?;蛘?,也可以使用單獨的ACS驅(qū)動器(如udmHP/BA、udmPM和udmPA),這些驅(qū)動器可以與ACS運動控制器組合,作為單軸和多軸應(yīng)用的模塊解決方案。
 位移平臺型號介紹:

緊湊型XY壓電位移臺

德國PI XY位移平臺P-611.XZ•P-611.2 XZ和XYZ納米定位器:用于納米定位的緊湊型兩軸壓電系統(tǒng)

德國PI XY位移平臺P-620.2 – P-629.2 PIHera XY壓電平臺:PI V-817線性平臺吳亞男行程范圍可變的高精度XY納米定位器

XY壓電撓性位移臺

德國PI XY位移平臺P-612.2 XY壓電納米定位系統(tǒng):緊湊,帶光圈

P-541.2•P-542.2 XY壓電平臺:大口徑薄型XY納米定位系統(tǒng)

P-733.2 XY壓電納米定位器:高精度XY光圈掃描儀

P-734 XY壓電掃描儀:具有最小跳動和清晰光圈的高動力系統(tǒng)

P-763緊湊型XY納米定位系統(tǒng):光圈清晰低剖面,經(jīng)濟高效的壓電掃描儀,PI V-817線性平臺吳亞男用于生物識別:CCD芯片可在兩個軸上動態(tài)移動,以提高像素分辨率

P-713 XY壓電掃描儀:具有成本效益的低矮OEM系統(tǒng)

P-545.xR8SPInano®XY(Z)壓電系統(tǒng):用于高分辨率顯微鏡的廉價納米定位系統(tǒng)

P-545.xC8SPInano®Cap XY(Z)壓電系統(tǒng):電容位置測量,用于超高分辨率顯微鏡

P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統(tǒng):PI V-817線性平臺吳亞男快速XY(Z)平臺用于高動態(tài)顯微鏡

2.德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀

PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實證明,沒有單一故障的1000億次循環(huán)。

零游隙撓性導(dǎo)軌,導(dǎo)向精度高

撓性導(dǎo)板無維護,無摩擦和無磨損,并且不需要潤滑。PI V-817線177性1858平3804臺它們的剛度允許高負(fù)載能力,并且對沖擊和振動不敏感。它們是100%真空兼容的,并且可以在寬溫度范圍內(nèi)工作。

平行位置測量,在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度

所有的自由度均以單個固定參考為參考??梢詫崟r地(取決于帶寬)主動補償與另一軸發(fā)生的不必要的運動串?dāng)_(主動引導(dǎo))。即使在動態(tài)操作中,也可以在納米范圍內(nèi)實現(xiàn)高跟蹤精度。

型號介紹:

德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-733.3 XYZ壓電納米定位器:高精度XYZ光圈掃描儀

德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-616NanoCube®納米定位器:緊湊的并聯(lián)運動壓電系統(tǒng),用于納米定位和光纖對準(zhǔn)

德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-611.3NanoCube®XYZ壓電系統(tǒng):PI V-817線177性1858平3804臺緊湊的多軸壓電系統(tǒng),用于納米定位和光纖對準(zhǔn)

德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-561•P-562•P-563 PIMars納米定位臺:高精度納米定位器,最多可容納3個軸

德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-517•P-527多軸壓電掃描儀:高動態(tài)納米定位儀/掃描儀,具有直接位置測量功能

用于顯微鏡的壓電撓曲XYZ掃描儀

德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-545.xR8SPInano®XY(Z)壓電系統(tǒng):用于高分辨率顯微鏡的廉價納米定位系統(tǒng)

德國PI P-545.xC8SPInano®Cap XY(Z)壓電系統(tǒng):電容位置測量,用于超高分辨率顯微鏡

德國PI P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統(tǒng):快速XY(Z)平臺用于高動態(tài)顯微鏡

緊湊型精密XYZ納米掃描儀

德國PI P-363 PicoCube XY(Z)壓電掃描儀:PI V-817線177性1858平3804臺高動態(tài)納米定位系統(tǒng),用于掃描探針顯微鏡

德國PI P-313 PicoCube XY(Z)壓電掃描儀:皮克計精度高帶寬,用于掃描探針顯微鏡

 

3.德國PI 線性壓電撓性位移臺

PI的納米定位平臺和掃描儀將納米精度的分辨率和引導(dǎo)精度與最小的串?dāng)_相結(jié)合。這使得它們特別適合于計量,微觀過程,干涉測量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的參考應(yīng)用。

帶有PICMA®壓電執(zhí)行器驅(qū)動器和撓性導(dǎo)軌的線性壓電平臺可用于最大1.5 mm的行程。

型號介紹:

壓電撓性線性平臺

德國PI P-630高動態(tài)壓電納米定位系統(tǒng):1軸大孔徑

德國PI P-753 LISA線性執(zhí)行器和平臺:動態(tài)穩(wěn)定

德國PI P-752高精度納米定位臺:高動態(tài)和穩(wěn)定的壓電掃描儀,具有極其精確德國PI的引導(dǎo)

德國PI P-750壓電納米定位系統(tǒng):PI V-817線177性1858平3804臺具有直接計量功能的高負(fù)載壓電驅(qū)動納米定位系統(tǒng)

德國PI P-611.1線性壓電定位系統(tǒng):廉價,緊湊的線性定位系統(tǒng)

德國PI P-712線性壓電掃描儀:緊湊型OEM系統(tǒng)

德國PI P-620.1 – P-629.1 PIHera壓電線性精密定位器:可變行程范圍和軸配置

德國PI壓電撓性垂直平臺

德國PI P-620.Z-P-622.Z PIHera垂直精密Z定位器:可變行程范圍和軸配置

德國PI S-303壓電移相器:高動態(tài),納米級精密壓電移相器

德國PI P-733.Z高動態(tài)Z納米定位儀/掃描儀:直接位置測量和通光孔徑

德國PI P-612.Z壓電Z舞臺:帶孔的緊湊型納米定位器

德國PI P-611.Z壓電Z舞臺:緊湊型納米定位器

特色定制

德國PI PI P-725KHDS

德國PI P-725KHDSPIFOC®高動態(tài)物鏡掃描儀:重型物鏡的納米分辨率

德國PI 4.PI 微型六足動物

4,德國PI 微型六足動物

德國PI Q-Motion®壓電位移臺內(nèi)置了最小的6自由度運動設(shè)備,也提供手掌大小的BLDC電機六足位移臺。

使用的運動設(shè)計取決于應(yīng)用中單個軸上運動的重要性。經(jīng)典的平行運動六腳架設(shè)計可實現(xiàn)最佳的整體性能均勻性。當(dāng)需要相對較大的線性運動時,最好采用薄型設(shè)計。

最好使用采用PI的專利PICMA®或PiezoWalk®驅(qū)動技術(shù)的六腳架提供超高真空和非磁性環(huán)境。

德國PI 微型六足動物H-811.I2 / I2V 6軸微型六腳架:PI V-817線177性1858平3804臺快速,緊湊,高精度

德國PI 微型六足動物H-811.F2 6軸微型六腳架:光纖對準(zhǔn)的理想選擇

德國PI H-811.S2 6軸運動六腳架:快速而緊湊的高動態(tài)應(yīng)用

德國PI H-810 6軸微型六腳架:最小空間內(nèi)的高精度

德國PI P-911KNMV超高壓兼容的微型壓電六腳架:即使在強磁場中也能進(jìn)行高精度定位

德國PI 5.PI 微型線性平臺

 

5,德國PI 微型線性平臺

微型階段對于在可用空間有限的定位任務(wù)中至關(guān)重要。諸如Q-motion®,PIline®和PiezoWalk®之類的壓電電機解決方案由于具有直接驅(qū)動原理,因此可實現(xiàn)最緊湊的平臺。

型號介紹:

德國PI帶有Q-Motion®,PILine®和PiezoWalk®驅(qū)動器的微型平臺

德國PI 微型線性平臺U-523PILine®線性平臺:帶有超聲波壓電電機的緊湊型線性平臺

德國PI 微型線性平臺Q-521 Q?Motion®微型線性平臺:具有位置控制,高分辨率和價格合理的最小線性平臺

德國PI PI N-565 1200精度最高的N-565線性平臺:PI V-817線177性1858平3804臺具有亞納米編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進(jìn)驅(qū)動器

德國PI U-521PILine®線性平臺:帶有超聲波壓電電機的緊湊型線性平臺

德國PI Q-545 Q Motion®精密線性平臺:壓電馬達(dá)帶來的高力和小設(shè)計,帶有PIMag®VC VoiceCoil和三相直線電機,步進(jìn),直流和無刷直流電機的微型平臺

德國PI M-110•M-111•M-112緊湊型線性平臺:XY(Z)組合,具有各種驅(qū)動器和行程范圍

德國PI L-306緊湊型精密Z工作臺:緊湊設(shè)計,多軸組合

德國PI L-505緊湊型線性平臺:帶直流或步進(jìn)電機

德國PI V-408PIMag®線性平臺:便宜,帶直線電機

德國PI V-508PIMag®精密線性平臺:多種選項可適應(yīng)需求

德國PI L-402微型線性平臺:帶直流或步進(jìn)電機

德國PI A-141 PIglide MB微型線性平臺,帶空氣軸承:高性能,無塵室兼容,可定制

德國PI V-522•V-524•V-528高性能PIMag®線性平臺:帶直接位置測量的音圈直接驅(qū)動

德國PI M-122.2DD1微翻譯平臺:具有直接位置測量功能的緊湊型線性平臺

德國PI M-105微翻譯平臺:精密交叉滾子導(dǎo)軌,PiezoMike選件,XY(Z)組合

德國PI MTS-65微型線性平臺:工業(yè)用途的堅固設(shè)計

德國PI L-406緊湊型線性平臺:對于10公斤的負(fù)載

6.德國PI 微型旋轉(zhuǎn)臺

帶有壓電馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)平臺使尺寸特別緊湊。

顯微鏡的許多應(yīng)用要求自由光通過。這些緊湊的旋轉(zhuǎn)平臺還可以用于光學(xué)應(yīng)用中,在這些應(yīng)用中,它們可以可靠地定位濾光片,并具有出色的可重復(fù)性。

旋轉(zhuǎn)平臺可以安裝在沒有適配器的線性平臺上,并且可以靈活組合多軸定位系統(tǒng)。

德國PI 帶有Q-Motion和PILine®驅(qū)動器的微型旋轉(zhuǎn)臺

德國PI U-622PILine®旋轉(zhuǎn)平臺:超聲波壓電馬達(dá)微型載物臺 ,PI V-817線177性1858平3804臺具有薄型設(shè)計的U-651旋轉(zhuǎn)平臺,快速PILine®直接驅(qū)動和中央開口

德國PI U-624PILine®旋轉(zhuǎn)平臺:超聲波壓電馬達(dá)微型載物臺

德國PI Q-632 Q Motion®旋轉(zhuǎn)臺:緊湊型壓電電機:轉(zhuǎn)臺直徑30 mm,帶有步進(jìn),直流和無刷直流(BLDC)電機的微型旋轉(zhuǎn)臺

德國PI 微型旋轉(zhuǎn)臺V-611PIMag®旋轉(zhuǎn)平臺:高扭矩的扁平設(shè)計,最大承重2 kg

德國PI RS-40緊湊型旋轉(zhuǎn)臺:精確定位

德國PI 微型旋轉(zhuǎn)臺V-610緊湊型PIMag®旋轉(zhuǎn)臺:緊湊,適用于M-110的多軸組合

德國PI DT-80緊湊型旋轉(zhuǎn)臺:大光圈

德國PI DT-34微型旋轉(zhuǎn)臺:尺寸緊湊,帶直流或步進(jìn)電機

7.德國PI 空氣軸承和位移臺

空氣軸承臺用于需要無振動運動,速度必須高度恒定且要求最佳角度重復(fù)性的場合。

空氣軸承避免了摩擦,磨損和間隙效應(yīng)。PIglide線性,旋轉(zhuǎn)和球面軸承是精密組件,可以集成和電動化用于OEM,工業(yè)和研究市場。

型號介紹:

帶空氣軸承的線性平臺

德國PI 空氣軸承和位移臺A-131 PIglide VC音圈線性平臺,帶空氣軸承:高性能微型納米定位系統(tǒng)

德國PI 空氣軸承和位移臺A-110 PIglide LC線性平臺,帶空氣軸承:廉價的高性能納米定位臺

德國PI 空氣軸承和位移臺A-141 PIglide MB微型線性平臺,PI V-817線177性1858平3804臺帶空氣軸承:高性能,無塵室兼容,可定制

德國PI A-123 PIglide AT3線性平臺,帶空氣軸承:高性能納米定位臺

德國PI A-121 PIglide AT1線性平臺,帶空氣軸承:高性能小尺寸納米定位臺

帶空氣軸承的XY位移臺

德國PI A-351帶直線電機的MGS龍門系統(tǒng):堅固的緊湊型設(shè)計,帶循環(huán)滾珠軸承導(dǎo)軌,可實現(xiàn)高負(fù)載能力。

德國PI A-341 PIglide HGS混合龍門系統(tǒng):帶有空氣軸承和循環(huán)球軸承導(dǎo)軌的混合導(dǎo)軌設(shè)計,可實現(xiàn)高精度,薄型化。

德國PI A-322 PIglide HS平面掃描儀,帶空氣軸承:XY定位系統(tǒng),分辨率為1 nm

德國PI A-311 PIglide IS平面掃描儀,帶空氣軸承:高性能,緊湊型XY納米定位系統(tǒng)

空氣軸承旋轉(zhuǎn)臺

德國PI A-63x PIglide RL帶有空氣軸承的平面旋轉(zhuǎn)平臺:無摩擦,電動

德國PI A-62x PIglide RM旋轉(zhuǎn)平臺,帶空氣軸承:無摩擦,是分度,定位,掃描,測量技術(shù)的理想選擇

德國PI PIglide運動控制器

德國PI A-81x PIglide運動控制器:用于1、2或4個軸

德國PI A-60x PIglide RT旋轉(zhuǎn)空氣軸承模塊:無摩擦,非電動

德國PI A-10x PIglide RB線性空氣軸承模塊:無摩擦,非常適合定位,掃描和計量

德國PI A-65x PIglide HB:半球形空氣軸承:PI V-817線177性1858平3804臺無摩擦,是三軸旋轉(zhuǎn)運動的理想選擇

PI (Physik Instrumente)總部位于卡爾斯魯厄,是半導(dǎo)體工業(yè)、生命科學(xué)、光子學(xué)和工業(yè)自動化領(lǐng)域中高精度定位技術(shù)和壓電應(yīng)用的市場與技術(shù)的佼佼者。在與全球各地客戶的密切合作中,PI的專家們(約1300名)50年來不斷地在技術(shù)上尋求可行的突破并從零開始開發(fā)定制的解決方案。本公司的已批及待批專利超過350項,因此彰顯了其創(chuàng)新地位。PI在歐洲、北美和亞洲擁有六個生產(chǎn)基地以及15個銷售及服務(wù)辦事處
德國PI六足動物
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