品牌pi | 有效期至長期有效 | 最后更新2020-06-04 13:43 |
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緊湊的并聯(lián)運(yùn)動壓電系統(tǒng),用于納米定位和光纖對準(zhǔn)
產(chǎn)品說明
平行運(yùn)動設(shè)計(jì),在所有空間方向上都具有最高的剛度
即使在負(fù)載高達(dá)100 g的情況下,由于共振頻率高,也能實(shí)現(xiàn)高動態(tài)運(yùn)動
單一安裝平臺,創(chuàng)新的產(chǎn)品設(shè)計(jì)可靈活使用。
市場上唯一具有ID芯片功能的納米定位器
市場上最小和最輕的NanoCube®,行程范圍為100 µm
應(yīng)用領(lǐng)域
光纖定位和對準(zhǔn)
掃描顯微鏡
2-光子聚合
納米技術(shù)與納米制造
光子學(xué)/集成光學(xué)
顯微操作
樣品定位
電容傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測量。它們保證了出色的運(yùn)動線性度,長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。
自動配置和快速的組件更換
機(jī)械和控制器可以根據(jù)需要進(jìn)行組合并快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機(jī)械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時,數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能都會使用此數(shù)據(jù)。
適用于復(fù)雜的真空應(yīng)用
壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。無需潤滑劑或油脂即可運(yùn)行。無聚合物壓電系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的除氣率。
PICMA®壓電執(zhí)行器,使用壽命長
獲得專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護(hù)它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實(shí)證明,沒有單一故障的1000億次循環(huán)。
零游隙撓性導(dǎo)軌,導(dǎo)向精度高
撓性導(dǎo)板無維護(hù),無摩擦和無磨損,并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力,并且對沖擊和振動不敏感。它們是100%真空兼容的,并且可以在寬溫度范圍內(nèi)工作。
通過并聯(lián)運(yùn)動學(xué)實(shí)現(xiàn)高動態(tài)多軸運(yùn)行
在并聯(lián)運(yùn)動多軸系統(tǒng)中,所有執(zhí)行器都作用在一個公共平臺上。最小的質(zhì)量慣性和所有軸的相同設(shè)計(jì)允許快速,動態(tài)但仍然精確的運(yùn)動。
PI (Physik Instrumente) P-753.1CD LISA
PI (Physik Instrumente) E-625.CR
PI (Physik Instrumente) M-060.PD
PI (Physik Instrumente) C-844.4DC
PI (Physik Instrumente) E-503.00S
PI (Physik Instrumente) E-625.SR
PI (Physik Instrumente) P-611.1S
PI (Physik Instrumente) E-727.3SDF
PI (Physik Instrumente) PD72Z2CAQ
PI (Physik Instrumente) P-721.12Q
PI (Physik Instrumente) M-531.PD1
PI (Physik Instrumente) C-843.21
PI (Physik Instrumente) M-531.PD1
PI (Physik Instrumente) M-061.PD
PI (Physik Instrumente) C-843.21
PI (Physik Instrumente) M-531.PD1
PI (Physik Instrumente) E-709.CRG
德國PI系列介紹:
1.PI XY位移平臺
高精度的2軸納米定位系統(tǒng)集成了PICMA®壓電執(zhí)行器,以實(shí)現(xiàn)大的可靠性。通過使用高質(zhì)量的納米計(jì)量傳感器,可以實(shí)現(xiàn)具有佳穩(wěn)定性的可重復(fù),無漂移的定位
用于小負(fù)載的2軸壓電掃描儀經(jīng)常用于掃描和跟蹤過程。它們的快速步進(jìn)運(yùn)動提高了光學(xué)系統(tǒng)的分辨率。這些包括相機(jī)技術(shù)中的成像過程和圖像識別,例如用于生物識別或文檔存檔。
型號介紹:
緊湊型XY壓電位移臺
P-611.XZ•P-611.2 XZ和XYZ納米定位器:用于納米定位的緊湊型兩軸壓電系統(tǒng)
P-620.2 – P-629.2 PIHera XY壓電平臺:行程范圍可變的高精度XY納米定位器
XY壓電撓性位移臺
P-612.2 XY壓電納米定位系統(tǒng):緊湊,帶光圈
P-541.2•P-542.2 XY壓電平臺:大口徑薄型XY納米定位系統(tǒng)
P-733.2 XY壓電納米定位器:高精度XY光圈掃描儀
P-734 XY壓電掃描儀:具有小跳動和清晰光圈的高動力系統(tǒng)
P-763緊湊型XY納米定位系統(tǒng):光圈清晰低剖面,經(jīng)濟(jì)高效的壓電掃描儀,用于生物識別:CCD芯片可在兩個軸上動態(tài)移動,以提高像素分辨率
P-713 XY壓電掃描儀:具有成本效益的低矮OEM系統(tǒng)
P-545.xR8SPInano®XY(Z)壓電系統(tǒng):用于高分辨率顯微鏡的廉價納米定位系統(tǒng)
P-545.xC8SPInano®Cap XY(Z)壓電系統(tǒng):電容位置測量,用于超高分辨率顯微鏡
P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統(tǒng):快速XY(Z)平臺用于高動態(tài)顯微鏡
2.PI XYZ壓電彎曲掃描儀
PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護(hù)它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實(shí)證明,沒有單一故障的1000億次循環(huán)。
零游隙撓性導(dǎo)軌,導(dǎo)向精度高
撓性導(dǎo)板無維護(hù),無摩擦和無磨損,并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力,并且沖擊和振動不敏感。它們是100%真空兼容的,并且可以在寬溫度范圍內(nèi)工作。
平行位置測量,在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度
所有的自由度均以單個固定參考為參考??梢詫?shí)時地(取決于帶寬)主動補(bǔ)償與另一軸發(fā)生的不必要的運(yùn)動串?dāng)_(主動引導(dǎo))。即使在動態(tài)操作中,也可以在納米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高跟蹤精度。
型號介紹:
P-733.3 XYZ壓電納米定位器:高精度XYZ光圈掃描儀
P-616NanoCube®納米定位器:緊湊的并聯(lián)運(yùn)動壓電系統(tǒng),用于納米定位和光纖對準(zhǔn)
P-611.3NanoCube®XYZ壓電系統(tǒng):緊湊的多軸壓電系統(tǒng),用于納米定位和光纖對準(zhǔn)
P-561•P-562•P-563 PIMars納米定位臺:高精度納米定位器,多可容納3個軸
P-517•P-527多軸壓電掃描儀:高動態(tài)納米定位儀/掃描儀,具有直接位置測量功能
用于顯微鏡的壓電撓曲XYZ掃描儀
P-545.xR8SPInano®XY(Z)壓電系統(tǒng):用于高分辨率顯微鏡的廉價納米定位系統(tǒng)
P-545.xC8SPInano®Cap XY(Z)壓電系統(tǒng):電容位置測量,用于超高分辨率顯微鏡
P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統(tǒng):快速XY(Z)平臺用于高動態(tài)顯微鏡
緊湊型精密XYZ納米掃描儀
P-363 PicoCube XY(Z)壓電掃描儀:高動態(tài)納米定位系統(tǒng),用于掃描探針顯微鏡
P-313 PicoCube XY(Z)壓電掃描儀:皮克計(jì)精度高帶寬,用于掃描探針顯微鏡
3.PI 線性壓電撓性位移臺
PI的納米定位平臺和掃描儀將納米精度的分辨率和引導(dǎo)精度與小的串?dāng)_相結(jié)合。這使得它們特別適合于計(jì)量,微觀過程,干涉測量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的參考應(yīng)用。
帶有PICMA®壓電執(zhí)行器驅(qū)動器和撓性導(dǎo)軌的線性壓電平臺可用于大1.5 mm的行程。
型號介紹:
壓電撓性線性平臺
P-630高動態(tài)壓電納米定位系統(tǒng):1軸大孔徑
P-753 LISA線性執(zhí)行器和平臺:動態(tài)穩(wěn)定
P-752高精度納米定位臺:高動態(tài)和穩(wěn)定的壓電掃描儀,具有極其精確的引導(dǎo)
P-750壓電納米定位系統(tǒng):具有直接計(jì)量功能的高負(fù)載壓電驅(qū)動納米定位系統(tǒng)
P-611.1線性壓電定位系統(tǒng):廉價,緊湊的線性定位系統(tǒng)
P-712線性壓電掃描儀:緊湊型OEM系統(tǒng)
P-620.1 – P-629.1 PIHera壓電線性精密定位器:可變行程范圍和軸配置
壓電撓性垂直平臺
P-620.Z-P-622.Z PIHera垂直精密Z定位器:可變行程范圍和軸配置
S-303壓電移相器:高動態(tài),納米級精密壓電移相器
P-733.Z高動態(tài)Z納米定位儀/掃描儀:直接位置測量和通光孔徑
P-612.Z壓電Z舞臺:帶孔的緊湊型納米定位器
P-611.Z壓電Z舞臺:緊湊型納米定位器
特色定制
PI P-725KHDS
P-725KHDSPIFOC®高動態(tài)物鏡掃描儀:重型物鏡的納米分辨率
4.PI 微型六足動物
Q-Motion®壓電位移臺內(nèi)置了小的6自由度運(yùn)動設(shè)備,也提供手掌大小的BLDC電機(jī)六足位移臺。
使用的運(yùn)動設(shè)計(jì)取決于應(yīng)用中單個軸上運(yùn)動的重要性。經(jīng)典的平行運(yùn)動六腳架設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)佳的整體性能均勻性。當(dāng)需要相對較大的線性運(yùn)動時,好采用薄型設(shè)計(jì)。
好使用采用PI的利PICMA®或PiezoWalk®驅(qū)動技術(shù)的六腳架提供超高真空和非磁性環(huán)境。
H-811.I2 / I2V 6軸微型六腳架:快速,緊湊,高精度
H-811.F2 6軸微型六腳架:光纖對準(zhǔn)的理想選擇
H-811.S2 6軸運(yùn)動六腳架:快速而緊湊的高動態(tài)應(yīng)用
H-810 6軸微型六腳架:最小空間內(nèi)的高精度
P-911KNMV超高壓兼容的微型壓電六腳架:即使在強(qiáng)磁場中也能進(jìn)行高精度定位
5.PI 微型線性平臺
微型階段對于在可用空間有限的定位任務(wù)中至關(guān)重要。諸如Q-motion®,PIline®和PiezoWalk®之類的壓電電機(jī)解決方案由于具有直接驅(qū)動原理,因此可實(shí)現(xiàn)緊湊的平臺。
型號介紹:
帶有Q-Motion®,PILine®和PiezoWalk®驅(qū)動器的微型平臺
U-523PILine®線性平臺:帶有超聲波壓電電機(jī)的緊湊型線性平臺
Q-521 Q?Motion®微型線性平臺:具有位置控制,高分辨率和價格合理的最小線性平臺
PI N-565 1200精度高的N-565線性平臺:具有亞納米編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進(jìn)驅(qū)動器
U-521PILine®線性平臺:帶有超聲波壓電電機(jī)的緊湊型線性平臺
Q-545 Q?Motion®精密線性平臺:壓電馬達(dá)帶來的高力和小設(shè)計(jì),帶有PIMag®VC VoiceCoil和三相直線電機(jī),步進(jìn),直流和無刷直流電機(jī)的微型平臺
M-110•M-111•M-112緊湊型線性平臺:XY(Z)組合,具有各種驅(qū)動器和行程范圍
L-306緊湊型精密Z工作臺:緊湊設(shè)計(jì),多軸組合
L-505緊湊型線性平臺:帶直流或步進(jìn)電機(jī)
V-408PIMag®線性平臺:便宜,帶直線電機(jī)
V-508PIMag®精密線性平臺:多種選項(xiàng)可適應(yīng)需求
L-402微型線性平臺:帶直流或步進(jìn)電機(jī)
A-141 PIglide MB微型線性平臺,帶空氣軸承:高性能,無塵室兼容,可定制
V-522•V-524•V-528高性能PIMag®線性平臺:帶直接位置測量的音圈直接驅(qū)動
M-122.2DD1微翻譯平臺:具有直接位置測量功能的緊湊型線性平臺
M-105微翻譯平臺:精密交叉滾子導(dǎo)軌,PiezoMike選件,XY(Z)組合
MTS-65微型線性平臺:工業(yè)用途的堅(jiān)固設(shè)計(jì)
L-406緊湊型線性平臺:對于10公斤的負(fù)載
6.PI 微型旋轉(zhuǎn)臺
帶有壓電馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)平臺使尺寸特別緊湊。
顯微鏡的許多應(yīng)用要求自由光通過。這些緊湊的旋轉(zhuǎn)平臺還可以用于光學(xué)應(yīng)用中,在這些應(yīng)用中,它們可以可靠地定位濾光片,并具有出色的可重復(fù)性。
旋轉(zhuǎn)平臺可以安裝在沒有適配器的線性平臺上,并且可以靈活組合多軸定位系統(tǒng)。
帶有Q-Motion和PILine®驅(qū)動器的微型旋轉(zhuǎn)臺
U-622PILine®旋轉(zhuǎn)平臺:超聲波壓電馬達(dá)微型載物臺 ,具有薄型設(shè)計(jì)的U-651旋轉(zhuǎn)平臺,快速PILine®直接驅(qū)動和中央開口
U-624PILine®旋轉(zhuǎn)平臺:超聲波壓電馬達(dá)微型載物臺
Q-632 Q?Motion®旋轉(zhuǎn)臺:緊湊型壓電電機(jī):轉(zhuǎn)臺直徑30 mm,帶有步進(jìn),直流和無刷直流(BLDC)電機(jī)的微型旋轉(zhuǎn)臺
V-611PIMag®旋轉(zhuǎn)平臺:高扭矩的扁平設(shè)計(jì),最大承重2 kg
RS-40緊湊型旋轉(zhuǎn)臺:精確定位
V-610緊湊型PIMag®旋轉(zhuǎn)臺:緊湊,適用于M-110的多軸組合
DT-80緊湊型旋轉(zhuǎn)臺:大光圈
DT-34微型旋轉(zhuǎn)臺:尺寸緊湊,帶直流或步進(jìn)電機(jī)
PI(Physik Instrumente)位移平臺
工作日
9:00-18:00