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XYZ壓電彎曲掃描儀

PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護(hù)它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實(shí)證明，沒有單一故障的1000億次循環(huán)。

零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高

撓性導(dǎo)板無維護(hù)，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可以在寬溫度范圍內(nèi)工作。

平行位置測量，在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度

所有的自由度均以單個(gè)固定參考為參考?？梢詫?shí)時(shí)地（取決于帶寬）主動(dòng)補(bǔ)償與另一軸發(fā)生的不必要的運(yùn)動(dòng)串?dāng)_（主動(dòng)引導(dǎo)）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，也可以在納米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高跟蹤精度。

型號展示：

壓電撓曲XYZ定位器和掃描儀

P-733.3 XYZ壓電納米定位器

高精度XYZ光圈掃描儀

P-616NanoCube®納米定位器

緊湊的并聯(lián)運(yùn)動(dòng)壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對準(zhǔn)

P-611.3NanoCube®XYZ壓電系統(tǒng)

緊湊的多軸壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對準(zhǔn)

P-561•P-562•P-563 PIMars納米定位臺(tái)

高精度納米定位器，最多可容納3個(gè)軸

P-517•P-527多軸壓電掃描儀

高動(dòng)態(tài)納米定位儀/掃描儀，具有直接位置測量功能

用于顯微鏡的壓電撓曲XYZ掃描儀

P-545.xR8SPInano®XY（Z）壓電系統(tǒng)

用于高分辨率顯微鏡的廉價(jià)納米定位系統(tǒng)

P-545.xC8SPInano®Cap XY（Z）壓電系統(tǒng)

電容位置測量，用于超高分辨率顯微鏡

P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統(tǒng)

快速XY（Z）平臺(tái)用于高動(dòng)態(tài)顯微鏡

緊湊型精密XYZ納米掃描儀

P-363 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀

高動(dòng)態(tài)納米定位系統(tǒng)，用于掃描探針顯微鏡

P-313 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀

皮克計(jì)精度高帶寬，用于掃描探針顯微鏡