Mlase MLI-200 KrF準分子激光能量監(jiān)測器

MLase 的現(xiàn)代緊湊型 MLI 系列準分子激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源，脈沖能量高達 16 mJ，重復(fù)頻率高達 1，000 Hz

市場上具有最高刀具壽命和可靠性以及低擁有成本的獨立設(shè)備。由于光束輪廓均勻，能量穩(wěn)定，適用于要求苛刻的應(yīng)用。

后綴為LC的準分子激光器還可以選擇主動水冷（通過家用水或外部熱交換器;無去離子水），以實現(xiàn)穩(wěn)定的連續(xù)運行。

Mlase MLI-200 KrF激光參數(shù)

波長（nm）248

最大重復(fù)頻率（Hz）200

穩(wěn)定脈沖能量（mJ）10

穩(wěn)定脈沖功率（W）2,0

能量穩(wěn)定性（西格瑪，%）2 

光束尺寸（FWHM，V x H mm）6x3

光束發(fā)散度（FWHM，V x H mrad）2x1 

脈沖持續(xù)時間（FWHM）（ns）5-15

重量kg 75

冷卻 空氣

電源 230V, 50/60Hz, 2000W 最大

尺寸 (L x W x H) mm 560 x 315 x 445

Mlase MLI-200 KrF準分子激光主要功能

剛性設(shè)計

電暈預(yù)電離

固態(tài)電路

卡套管技術(shù)

能量監(jiān)測器

緊湊型準分子激光，單相

Mlase MLI-200 KrF準分子激光優(yōu)勢

高可靠性

均勻梁剖面

即時可用，無老化

全金屬密封管

數(shù)十億脈沖的延長壽命

能量穩(wěn)定

易于操作，易于集成

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