品牌Leybold | 有效期至長期有效 | 最后更新2023-06-08 14:23 |
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RUVAC WS 羅茨鼓風機由風冷或水冷封閉式電機驅(qū)動??捎玫淖冾l器已與泵匹配,因此排除了機械過載的可能性。在壓差過高的情況下,泵的轉(zhuǎn)速會自動降低,直到其負載。RUVAC WSU系列羅茨真空泵配有額外的集成壓力均衡管路和壓差閥。這些系列的泵標配垂直泵送動作。
2、Leybold帶風冷密封封閉式電機的羅茨鼓風機RUVAC WS 結(jié)構(gòu)
兩條風冷管路 WS/WSU,每條管路有四種泵尺寸
由風冷封閉式電機驅(qū)動的高度密封風冷泵
用礦物油潤滑(或者用LVO 400潤滑)
電機定子線圈中的過溫開關(guān)
所有彈性體密封件均由 FPM (FKM)/氟橡膠制成
帶壓差閥的集成壓力均衡管路可防止 WSU 型號過載(可選)
變頻器可用于在 251 至 2001 Hz 之間操作 RUVAC WS 20 至 100 泵
無軸通向大氣,因此特別密封
從垂直泵送到水平泵送動作的轉(zhuǎn)換可以從客戶的角度完成
3、提供設(shè)備
所需數(shù)量的油與泵單獨供應(yīng)(例外情況除外)
如果沒有說明其他類型的油,則使用礦物油LVO 100作為標準配置
用氮氣吹掃,防腐蝕
進氣法蘭中的墊圈,帶集成式防塵篩
WAU/WSU/WHU 系列羅茨真空泵配有額外的集成壓力均衡管路和壓差閥。
4、應(yīng)用
適用于需要在 10-2 和 10-4 mbar(0.75 x 10-2 和 0.75 x 10-4 Torr)壓力下實現(xiàn)高抽速的應(yīng)用
用于必須避免因空氣進入或泵送介質(zhì)泄漏而可能造成污染的地方
吸入或泵送高純度氣體
用于潔凈室,空氣不得通過電機風扇再循環(huán)
RUVAC羅茨鼓風機是建筑玻璃鍍膜行業(yè)的標準設(shè)備。結(jié)合成熟的油封SOGEVAC泵,它們在負載鎖腔室實現(xiàn)了最短的抽氣時間。結(jié)合干式壓縮 DRYVAC 和螺桿泵,它們可確保工藝腔室的干燥、可靠真空。
RUVAC羅茨鼓風機用于許多應(yīng)用中,以實現(xiàn)盡可能短的循環(huán)時間,例如在需要快速抽真空的地方,例如,在支撐負載鎖定室或高速食品包裝中。
RUVAC羅茨鼓風機在氣相沉積過程之前抽真空燈和絕緣表面時,可快速達到低于10-3毫巴的壓力。
RUVAC鼓風機還用于制造硅單晶的單晶拉拔設(shè)備,硅單晶是制造半導(dǎo)體和太陽能電池的基本材料。我們很樂意為您提供廣泛的產(chǎn)品和應(yīng)用支持以及專業(yè)知識。
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