德國Physik壓電P-541.2系列大口徑升降/傾斜工作臺

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 Physik 壓電納米定位表

Physik 多軸壓電

Physik PI多軸壓敏儀允許在多達6個軸上以亞納米級精度進行定位和掃描，包括所有傾斜和旋轉(zhuǎn)方向。從特別緊湊的壓電立方體到具有大孔徑和低剖面的設計，有許多變體可供選擇。

帶壓電陶瓷驅(qū)動器和固態(tài)接頭的升降/傾斜工作臺

P-541.2 • P-542.2 壓電交叉工作臺

大口徑平面XY納米定位系統(tǒng)

高度低，易于集成：16.5 mm

孔徑 80 mm × 80 mm

行程可達 200 μm × 200 μm

通過并聯(lián)運動實現(xiàn)更快的響應時間和更高的多軸精度

高動態(tài)直接驅(qū)動版本

傳感器：低成本應變片傳感器或電容式傳感器，可實現(xiàn)更高性能

通過PICMA®壓電陶瓷促動器實現(xiàn)超長的使用壽命

與顯微鏡載物臺結(jié)合使用，可實現(xiàn)更大的行程范圍

應用

掃描顯微鏡

高通量顯微鏡

超分辨率顯微鏡

掩模/晶圓定位

干涉

測量

生物工藝學

顯微操作

帶電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行非接觸式測量。它們保證了出色的機芯線性度、高長期穩(wěn)定性和 kHz 范圍內(nèi)的帶寬。

自動配置和快速組件更換

機械裝置和控制器可以根據(jù)需要組合并快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機械師D-Sub連接器的ID芯片中。每次控制器打開時，數(shù)字控制器的自動校準功能都會自動使用此數(shù)據(jù)。

通過平行運動實現(xiàn)高動態(tài)多軸操作

在并聯(lián)運動多軸系統(tǒng)中，所有執(zhí)行器都作用于一個公共平臺。最小的質(zhì)量慣性和所有軸的相同設計允許快速、動態(tài)和精確的運動。

P-541.2CD /P-541.2CL

P-542.2CD /P-542.2CL

P-541.2DD

P-541.2SL

P-542.2SL

P-541.20L /P-542.20L

P-541。Z • P-541。T壓電升降臺/升降和傾斜臺

扁平化設計，大光圈

高度低，易于集成：16.5 mm

孔徑 80 mm × 80 mm

行程可達 150 μm

傾斜角度高達 1.2 mrad。

通過并聯(lián)運動實現(xiàn)更快的響應時間和更高的多軸精度

傳感器：低成本應變片傳感器或電容式傳感器，可實現(xiàn)更高性能

通過PICMA®壓電陶瓷促動器實現(xiàn)超長的使用壽命

可與顯微鏡載物臺結(jié)合使用，以實現(xiàn)大行程范圍

應用

掃描顯微鏡

超分辨率顯微鏡

生物工藝學

掩模/晶圓定位

樣品定位

干涉

測量

PICMA® 壓電陶瓷促動器具有出色的使用壽命

獲得專利的PICMA®壓電陶瓷促動器是全陶瓷絕緣的。這可以保護它們免受由于泄漏電流增加而導致的潮濕和故障的影響。PICMA®促動器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣致動器的十倍。經(jīng)過 100 億次循環(huán)驗證，無一次故障。

帶電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行非接觸式測量。它們保證了出色的機芯線性度、高長期穩(wěn)定性和 kHz 范圍內(nèi)的帶寬。

通過無間隙固態(tài)接頭導向裝置實現(xiàn)高導向精度

固態(tài)接頭導軌無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑劑。它們的剛性使其具有很高的彈性，對沖擊載荷和振動不敏感。它們在很寬的溫度范圍內(nèi)工作。

自動配置和快速組件更換

機械裝置和控制器可以根據(jù)需要組合并快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機械師D-Sub連接器的ID芯片中。每次控制器打開時，數(shù)字控制器的自動校準功能都會自動使用此數(shù)據(jù)。

通過平行運動實現(xiàn)高動態(tài)多軸操作

在并聯(lián)運動多軸系統(tǒng)中，所有執(zhí)行器都作用于一個公共平臺。最小的質(zhì)量慣性和所有軸的相同設計允許快速、動態(tài)和精確的運動。

P-541.T0L

P-541.TCD

P-541.TSL

P-541.Z0L

P-541.ZCD

P-541.ZSL

P-518 • P-528 • P-558 壓電升降和傾斜工作臺

高動態(tài)，大光圈

6軸壓電定位器

3軸升降和傾斜工作臺/1軸升降臺

Z軸行程/傾斜角度可達 200 μm / 2 mrad（高達 240 μm / 2.4 mrad，不受控制）

通過并聯(lián)運動實現(xiàn)更快的響應時間和更高的多軸精度

無間隙和高精度固態(tài)導軌

通過PICMA®壓電陶瓷促動器實現(xiàn)超長的使用壽命

自由光圈 66 mm × 66 mm

通過集成電容式傳感器實現(xiàn)最高線性度

應用

測量

干涉

光子學/集成光學

光刻

納米定位

掃描顯微鏡

樣品比對

微加工

PICMA® 壓電陶瓷促動器具有出色的使用壽命

獲得專利的PICMA®壓電陶瓷促動器是全陶瓷絕緣的。這可以保護它們免受由于泄漏電流增加而導致的潮濕和故障的影響。PICMA®促動器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣致動器的十倍。經(jīng)過 100 億次循環(huán)驗證，無一次故障。

帶電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行非接觸式測量。它們保證了出色的機芯線性度、高長期穩(wěn)定性和 kHz 范圍內(nèi)的帶寬。

通過無間隙固態(tài)接頭導向裝置實現(xiàn)高導向精度

固態(tài)接頭導軌無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑劑。它們的剛性使其具有很高的彈性，對沖擊載荷和振動不敏感。它們在很寬的溫度范圍內(nèi)工作。

自動配置和快速組件更換

機械裝置和控制器可以根據(jù)需要組合并快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機械師D-Sub連接器的ID芯片中。每次控制器打開時，數(shù)字控制器的自動校準功能都會自動使用此數(shù)據(jù)。

通過平行位置測量實現(xiàn)納米范圍內(nèi)的高路徑保真度

所有自由度均根據(jù)單個固定基準進行測量?？梢詫崟r調(diào)節(jié)運動到另一個軸的不需要的串擾（取決于帶寬）（主動引導）。即使在動態(tài)操作中，也能實現(xiàn)納米范圍內(nèi)的高路徑保真度。

P-518.TCD

P-518.ZCD

P-518.ZCL

P-528.TCD

P-528.ZCD

P-528.ZCL

P-558.TCD

P-558.ZCD

P-558.ZCL

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