PIEZOCONCEPT 1軸控制器 緊湊型Z直接驅(qū)動(dòng)納米定位器 具有高速功能
Z-STAGE是一款緊湊型Z直驅(qū)納米定位器,具有高速性能。
它可以與具有66×66 mm孔徑的2軸納米定位器(LF2/LFHS2)結(jié)合,以獲得SPM3或SPM3LR。Z平臺(tái)可提供5、10、25或50µm的運(yùn)動(dòng)范圍。
該納米定位器是我們高速產(chǎn)品線的一部分(可提供高功率控制器)
1軸控制器
Z-STAGE通常與1軸控制器一起使用,但如果與LT2、LF2或其他壓電級(jí)結(jié)合,則可以與2軸或3軸控制器一起。
王博雅
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