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PI位移平臺 E-727.3SDA 102毫米行程

    

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品牌Physik Instrumente 有效期至長期有效 最后更新2022-08-31 18:39
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PI位移平臺 E-727.3SDA 102毫米行程

產(chǎn)品介紹
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P-616NanoCube®納米定位器
緊湊的并聯(lián)運動壓電系統(tǒng),用于納米定位和光纖對準(zhǔn)
應(yīng)用領(lǐng)域:
光纖定位和對準(zhǔn)
掃描顯微鏡
2-光子聚合
納米技術(shù)與納米制造
光子學(xué)/集成光學(xué)
顯微操作
樣品定位
 
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進行測量。它們保證了出色的運動線性,長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。
自動配置和快速的組件更換
機械和控制器可以根據(jù)需要進行組合,并可以快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時,數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能都會使用此數(shù)據(jù)。
適用于復(fù)雜的真空應(yīng)用
壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。無需潤滑劑或油脂即可運行。不含聚合物的壓電系統(tǒng)可實現(xiàn)極低的脫氣率。
PICMA®壓電執(zhí)行器,使用壽命長
專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和由于泄漏電流增加而引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。已證明沒有任何故障的1000億次循環(huán)。
零游隙撓性導(dǎo)軌,導(dǎo)向精度高
撓性導(dǎo)板無維護,無摩擦和無磨損,并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力,并且對沖擊和振動不敏感。它們是100%真空兼容的,并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。
通過并聯(lián)運動學(xué)實現(xiàn)高動態(tài)多軸運行
在并聯(lián)運動多軸系統(tǒng)中,所有執(zhí)行器都作用在一個公共平臺上。最小的質(zhì)量慣性和所有軸的相同設(shè)計允許快速,動態(tài)且仍然精確的運動。
 
P-363 PicoCube XY(Z)壓電掃描儀
用于掃描探針顯微鏡的動態(tài)納米定位儀
應(yīng)用領(lǐng)域:
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
掃描和篩選
 
零游隙撓性導(dǎo)軌,導(dǎo)向精度高
撓性導(dǎo)板無維護,無摩擦和無磨損,并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力,并且對沖擊和振動不敏感。它們是100%真空兼容的,并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。
平行位置測量,在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度
所有的自由度均以單個固定參考為基準(zhǔn)進行測量。軸之間不需要的串?dāng)_可以實時(根據(jù)帶寬)得到主動補償(主動引導(dǎo))。即使在動態(tài)操作中,也可以在納米范圍內(nèi)實現(xiàn)高跟蹤精度。
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進行測量。它們保證了出色的運動線性,長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。
自動配置和快速的組件更換
機械和控制器可以根據(jù)需要進行組合,并可以快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時,數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能都會使用此數(shù)據(jù)。
PI精密XY位移平臺 L-738
技術(shù)規(guī)格
行程為102毫米×102毫米(4")
大孔徑,150毫米×150毫米
單向重復(fù)精度達0.05微米
速度達90毫米/秒
兩相步進電機,直流-電機
增量線性編碼器分辨率為1納米
增量編碼器用于高精度位置測量
非接觸式光學(xué)編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應(yīng)、機械作用或彈性形變不會對測量造成影響。
光學(xué)參考點和限位開關(guān)。
再循環(huán)滾珠軸承
再循環(huán)滾珠軸承經(jīng)過認真組裝后,具有高負載能力、長使用壽命、使用免保養(yǎng)和高導(dǎo)向精度等多種特點。平臺的移動
部件由在兩個導(dǎo)軌上移動的四個預(yù)加載線性球形軸承支持。每個軸承單元由兩個獨立的循環(huán)滾珠軸承組成。
驅(qū)動器類型
兩相步進電機可實現(xiàn)高轉(zhuǎn)矩(即使低速時)和高分辨率
直流電機可實現(xiàn)高速度穩(wěn)定性、低振動和高速
 
應(yīng)用領(lǐng)域
醫(yī)藥行業(yè), 激光切割, 生物技術(shù), 計量, 顯微鏡
常用型號
Physik Instrumente S-331.5SH
Physik Instrumente S-330.4SH
Physik Instrumente S-330.2SH
Physik Instrumente H-824.D2V
Physik Instrumente H-824.G2
Physik Instrumente H-820.D2
Physik Instrumente H-811.I2
Physik Instrumente E-500.00
Physik Instrumente E-505.00S
Physik Instrumente E-509.S3
Physik Instrumente E-727.3SDA
Physik Instrumente E-727.3SD
Physik Instrumente E-709.CRG
Physik Instrumente E-727.3SDA
Physik Instrumente E-664.S3
Physik Instrumente E-852.10
Physik Instrumente E-873.1AT
Physik Instrumente E-712.1AM
Physik Instrumente D-891.01E
Physik Instrumente D-510.051
Physik Instrumente U-521.24
Physik Instrumente L-741.133111
Physik Instrumente L-402.10SD
Physik Instrumente L-738.053111
Physik Instrumente L-741.131112
Physik Instrumente N-216.2A1 N
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