laurell WS-650-23B勻膠機(jī)
控制器:650 系列
最大基板尺寸;ø150毫米(5英寸×5英寸)
最大轉(zhuǎn)速:12,000 轉(zhuǎn)/每分
過(guò)程保障:
所有Laurell過(guò)程控制器的"過(guò)程保護(hù)"功能確保相同的過(guò)程不會(huì)無(wú)意中在同一基板上運(yùn)行??梢院苋菀椎乩@過(guò)此功能以再次運(yùn)行相同的進(jìn)程,而無(wú)需打開(kāi)系統(tǒng),或者可以一遍又一遍地運(yùn)行序列(循環(huán))。
所需設(shè)施
N2過(guò)程/密封吹掃:
需要 60–70 PSIG (4–5 bar) 的氮?dú)?CDA來(lái)對(duì)迷宮式電機(jī)密封件加壓。這種氣體還會(huì)吹掃工藝腔室。氣體消耗非常低,每小時(shí)3立方英尺(0.085米)3/小時(shí))用于我們的標(biāo)準(zhǔn)電機(jī),每小時(shí) 20 立方英尺(0.566 米)3/小時(shí)),用于我們的高性能電機(jī)。提供 10 英尺(300 厘米)的 3/16 英寸 (~4 毫米) 內(nèi)徑 X 1/4 英寸 (~6 毫米) 外徑PE管。
真空:
建議在 0 英寸汞柱下真空 25–28 英寸(~635–711 毫米)汞柱,流量為 4.5 SCFM(0.127 立方米/分鐘)。 提供 10 英尺(300 厘米)的 3/8 英寸(~9.5 毫米)外徑 X 1/4 英寸(約 6 毫米)內(nèi)徑PE管。
功率:
laurell WS-650-23B勻膠機(jī)
郭秀
QQ:2853369891
手機(jī):18518179676
電話:010-64714988-176
傳真:010-84786709-667
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