Physik Instrumente線性平臺(tái) H-811.I2系列

應(yīng)用領(lǐng)域

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六腳架支持工業(yè)機(jī)器人科學(xué)儀器

半導(dǎo)體技術(shù)

顯微鏡檢查

硅光子學(xué)

醫(yī)療技術(shù)

材料研究

機(jī)械工業(yè)

自動(dòng)化

梁線儀器

添加劑制造

主動(dòng)對(duì)準(zhǔn)

線性平臺(tái)

PI提供了廣泛的電動(dòng)線性平臺(tái)產(chǎn)品組合。種類繁多的應(yīng)用還意味著線性軸的技術(shù)可能性也非常廣泛。行程范圍從幾毫米到幾米，精度等級(jí)從納米到微米：PI使驅(qū)動(dòng)器，導(dǎo)向器或傳感器技術(shù)適應(yīng)應(yīng)用條件。

有許多不同型號(hào)的真空版本。多軸組合可借助轉(zhuǎn)接器支架實(shí)現(xiàn)，或者通過匹配的Z平臺(tái)和旋轉(zhuǎn)平臺(tái)更加緊湊。

運(yùn)動(dòng)控制器可作為臺(tái)式設(shè)備，機(jī)架版本或緊湊型OEM設(shè)備使用。所有這些因素的共同因素是通過通用命令集（GCS）進(jìn)行命令，該命令簡(jiǎn)化了控制和編程，并且與驅(qū)動(dòng)器類型無關(guān)。

可提供具有ACS運(yùn)動(dòng)控制器的多軸工業(yè)應(yīng)用中的多軸系統(tǒng)。這樣可確保通過Fieldbus接口輕松集成，以實(shí)現(xiàn)精密和以運(yùn)動(dòng)為中心的工業(yè)應(yīng)用。

 

1.U-523PILine®線性平臺(tái)

帶有超聲波壓電馬達(dá)的緊湊型線性平臺(tái)

精密級(jí)線性定位平臺(tái)

PILine®位移臺(tái)特別適合需要快速精確定位的應(yīng)用。關(guān)閉時(shí)，自鎖驅(qū)動(dòng)器會(huì)以機(jī)械方式穩(wěn)定工作臺(tái)的位置。因此，能量消耗和熱量產(chǎn)生顯著減少。這些特性使電池供電或?qū)崦舾械牡驼伎毡葢?yīng)用受益。軸的位置由編碼器測(cè)量，光學(xué)參考開關(guān)可實(shí)現(xiàn)可靠的可重復(fù)運(yùn)動(dòng)。壓電驅(qū)動(dòng)原理及其電氣操作成本低廉，可以定制。

使用增量線性編碼器進(jìn)行高精度位置測(cè)量

非接觸式光學(xué)編碼器可以最高精度直接在平臺(tái)上測(cè)量位置。非線性，機(jī)械間隙或彈性變形對(duì)測(cè)量沒有影響。

PILine®超聲波壓電馬達(dá)

PILine®超聲波壓電電機(jī)的組成部分是壓電致動(dòng)器，該壓電致動(dòng)器通過一個(gè)耦合元件預(yù)加載在可移動(dòng)的導(dǎo)向流道上。壓電陶瓷執(zhí)行器被100至200 kHz之間的高頻AC電壓激勵(lì)而產(chǎn)生超聲振蕩。致動(dòng)器的變形導(dǎo)致聯(lián)接元件相對(duì)于轉(zhuǎn)輪周期性的對(duì)角運(yùn)動(dòng)。每個(gè)周期產(chǎn)生的進(jìn)料為幾納米。高頻導(dǎo)致高速。將壓電陶瓷執(zhí)行器預(yù)緊抵在轉(zhuǎn)輪上，可確保驅(qū)動(dòng)器在靜止和關(guān)閉時(shí)自動(dòng)鎖定。

應(yīng)用領(lǐng)域

顯微操作，自動(dòng)化，生物技術(shù)，樣品處理，樣品定位，空間有限的應(yīng)用，10 -6 hPa的真空應(yīng)用（可選）。

 

2.精度最高的N-565線性平臺(tái)

具有亞納米編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器

NEXACT®參考級(jí)線性平臺(tái)

帶有NEXACT®PiezoWalk®驅(qū)動(dòng)器的線性平臺(tái)可在長(zhǎng)行程范圍內(nèi)在納米范圍內(nèi)進(jìn)行高精度定位。它們配備有直接測(cè)量的線性編碼器和交叉滾子軸承，可實(shí)現(xiàn)最高的精度。

使用PIOne線性編碼器進(jìn)行直接位置測(cè)量

PI開發(fā)了高分辨率的PIOne編碼器，并通過對(duì)測(cè)量值進(jìn)行相應(yīng)的處理，使位置分辨率大大小于1納米。另外，由于信號(hào)周期短和信號(hào)質(zhì)量高，PIOne編碼器的線性誤差小于1％。PIOne編碼器在評(píng)估參考信號(hào)時(shí)支持方向感測(cè)。

PiezoWalk®技術(shù)：高分辨率和低磨損

PiezoWalk®技術(shù)結(jié)合了壓電執(zhí)行器和壓電馬達(dá)的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。PiezoWalk®行走驅(qū)動(dòng)器不僅提供亞納米級(jí)分辨率，高作用力和高剛度，而且理論上允許無限的行駛范圍。與其他壓電驅(qū)動(dòng)原理相反，PiezoWalk®行走驅(qū)動(dòng)器不受滑動(dòng)摩擦的影響。它們基于沿著滑道步進(jìn)的多個(gè)壓電執(zhí)行器的靜摩擦接觸。靜止時(shí)，PiezoWalk®行走驅(qū)動(dòng)器是自鎖的，不消耗能量，并且不發(fā)熱。

應(yīng)用領(lǐng)域

樣品處理，樣品定位，具有高精度和穩(wěn)定性的光學(xué)或機(jī)械組件，半導(dǎo)體行業(yè)的精密機(jī)械，顯微操作，顯微鏡，自動(dòng)化，在狹窄空間中的應(yīng)用，在非磁性環(huán)境中的應(yīng)用。

 

3.L-812高負(fù)載線性平臺(tái)

步進(jìn)或伺服電機(jī)•驅(qū)動(dòng)螺桿•性價(jià)比高

強(qiáng)大的線性平臺(tái)，用于要求苛刻的工業(yè)應(yīng)用

精密滾珠絲杠，高性能步進(jìn)或同步伺服電機(jī)，重型循環(huán)滾珠軸承以及精密旋轉(zhuǎn)編碼器可在高負(fù)載下連續(xù)可靠地運(yùn)行?？蛇x的抱閘允許用作Z軸。滾珠絲杠可以在不拆卸的情況下從外部進(jìn)行補(bǔ)充潤(rùn)滑，以確保高可靠性和長(zhǎng)壽命。

開拓設(shè)計(jì)

L-812系列的循環(huán)球軸承導(dǎo)軌設(shè)計(jì)用于高負(fù)載能力和動(dòng)態(tài)性能。電機(jī)的高分辨率可改善跟蹤性能，減小跟蹤誤差并縮短建立時(shí)間。

選項(xiàng)

步進(jìn)或同步伺服電機(jī)

抱閘

旋轉(zhuǎn)編碼器，增量式或絕對(duì)式

折疊式傳動(dòng)系統(tǒng)可減少總長(zhǎng)度

同步伺服電機(jī)

這些電動(dòng)機(jī)在較大的轉(zhuǎn)速范圍內(nèi)具有較高的定位精度和較高的過載能力。高扭矩和低慣量確保了驅(qū)動(dòng)器的高動(dòng)態(tài)。這些電機(jī)的使用壽命長(zhǎng)，性能高且堅(jiān)固耐用，可在工業(yè)自動(dòng)化應(yīng)用中獲得出色的效果。

步進(jìn)電機(jī)

強(qiáng)大且低振動(dòng)的2相步進(jìn)電機(jī)即使在沒有位置控制的情況下也可以實(shí)現(xiàn)精確定位。

應(yīng)用領(lǐng)域

電子產(chǎn)品生產(chǎn)：微裝配。傳感器/攝像頭的位置。

激光材料加工：激光微加工。

工業(yè)噴墨印刷。矩陣板和印刷電路板的生產(chǎn)。

測(cè)試與檢查。

醫(yī)療設(shè)備制造：氣密焊接?；?qū)嶒?yàn)室的機(jī)器人系統(tǒng)。

 

空氣軸承和位移臺(tái)

空氣軸承臺(tái)用于需要無振動(dòng)運(yùn)動(dòng)，速度需要高度恒定且要求最佳角度重復(fù)性的場(chǎng)合。

空氣軸承避免了摩擦，磨損和反沖效應(yīng)。PIglide線性，旋轉(zhuǎn)和球面軸承是精密組件，可以集成和電動(dòng)化用于OEM，工業(yè)和研究市場(chǎng)。

 

1.A-142 PIglide音圈線性平臺(tái)，帶空氣軸承

   高性能•兼容無塵室•垂直安裝選件

產(chǎn)品總覽

高性能緊湊型音圈線性平臺(tái)，帶有空氣軸承導(dǎo)軌。免維護(hù)，無限壽命，非常適合具有高占空比和嚴(yán)格體積限制的高動(dòng)態(tài)應(yīng)用。

集成的平衡選項(xiàng)可實(shí)現(xiàn)垂直方向的操作。

配件和選件

PIglide過濾器和空氣制備套件

垂直安裝的氣動(dòng)平衡

應(yīng)用領(lǐng)域

線性位移臺(tái)非常適合高精度應(yīng)用，例如計(jì)量學(xué)，光子學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，光學(xué)器件定位和掃描。非接觸式設(shè)計(jì)是潔凈室應(yīng)用的理想選擇。電纜未移動(dòng)。

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2.A-110 PIglide LC線性平臺(tái)，帶空氣軸承

廉價(jià)的高性能納米定位臺(tái)

產(chǎn)品總覽

PIglide定位系統(tǒng)具有磁性直線電機(jī)，磁性預(yù)加載的空氣軸承和光學(xué)線性編碼器：非接觸和無摩擦運(yùn)動(dòng)，可提供最高的準(zhǔn)確性和可靠性

應(yīng)用領(lǐng)域

PIglide定位系統(tǒng)非常適合許多高精度應(yīng)用，例如半導(dǎo)體或平板顯示器制造中的計(jì)量，光子學(xué)和精密掃描。

由于無摩擦運(yùn)動(dòng)，不會(huì)形成任何顆粒，這使PIglide平臺(tái)成為潔凈室應(yīng)用的理想選擇。

配件和選件

編碼器

PIglide過濾器和空氣制備套件

單軸和多軸運(yùn)動(dòng)控制器

XY設(shè)置和個(gè)別配置

用花崗巖制成的底板和減少振動(dòng)的系統(tǒng)

 

3.A-141 PIglide MB微型線性平臺(tái)，帶空氣軸承

高性能，無塵室兼容，可定制 

產(chǎn)品總覽

帶有空氣軸承的PIglide MB線性位移臺(tái)配有伺服線性電機(jī)驅(qū)動(dòng)器，該驅(qū)動(dòng)器帶有預(yù)裝的空氣軸承和集成的光學(xué)線性編碼器。此階段可提供微型格式的超高精度。非接觸組件的組合形成了一個(gè)無摩擦運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，該平臺(tái)可提供最高的性能，質(zhì)量和使用壽命。

應(yīng)用領(lǐng)域

該載物臺(tái)非常適合許多高精度應(yīng)用，例如計(jì)量，光子對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)定位和掃描。非接觸式設(shè)計(jì)也是潔凈室應(yīng)用的理想選擇。電纜未移動(dòng)。空氣軸承模塊提供鎖定設(shè)計(jì)，以實(shí)現(xiàn)最高的位置穩(wěn)定性。

配件和選件

PIglide過濾器和空氣制備套件

單軸和多軸運(yùn)動(dòng)控制器

用花崗巖制成的底板和減少振動(dòng)的系統(tǒng)

 

旋轉(zhuǎn)臺(tái)

對(duì)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的要求顯示出范圍很廣的各種尺寸，負(fù)載能力和定位精度。PI提供具有各種電動(dòng)和導(dǎo)向選項(xiàng)的平臺(tái)：空氣軸承，扭矩馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，蝸輪蝸桿耦合電動(dòng)，小型壓電馬達(dá)平臺(tái)以及帶有正交傾斜安裝選項(xiàng)的專用測(cè)角儀平臺(tái)。它們都可以通過相應(yīng)的線性，垂直和XY平臺(tái)安裝到多軸組合上。 

 

1.A-68x PIglide RLA旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，帶空氣軸承，大孔徑

無摩擦，電動(dòng)

產(chǎn)品總覽

PIglide RLA系列的直接驅(qū)動(dòng)平面旋轉(zhuǎn)平臺(tái)設(shè)計(jì)為具有最高的精度。它們外形小巧，通光孔徑大。RLA位移臺(tái)具有出色的行程精度，平坦度和擺動(dòng)性能。

絕對(duì)值編碼器（可選）

絕對(duì)值編碼器提供明確的位置信息，從而可以立即確定位置。這意味著在接通過程中不需要引用，從而提高了操作過程中的效率和安全性。

應(yīng)用領(lǐng)域

斷層掃描，束線系統(tǒng)，晶圓計(jì)量，晶圓檢查，測(cè)量技術(shù)，檢查系統(tǒng)，校準(zhǔn)，掃描。

由于無摩擦運(yùn)動(dòng)，不會(huì)形成任何顆粒，這使PIglide平臺(tái)成為潔凈室應(yīng)用的理想選擇。

三相轉(zhuǎn)矩電機(jī)

無刷

低齒槽轉(zhuǎn)矩

配件和選件

增量或絕對(duì)編碼器

PIglide過濾器和空氣制備套件

單軸或多軸運(yùn)動(dòng)控制器和伺服驅(qū)動(dòng)器

多軸/自定義設(shè)置

用花崗巖制成的底板和減少振動(dòng)的系統(tǒng)

 

2.A-63x PIglide RL帶有空氣軸承的平面旋轉(zhuǎn)平臺(tái)

無摩擦，電動(dòng)

產(chǎn)品總覽

PIglide RL系列的直接驅(qū)動(dòng)式薄型旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)采用薄型設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)最高的精度?？梢越M合使用各種選項(xiàng)，以創(chuàng)建理想的解決方案，以實(shí)現(xiàn)點(diǎn)對(duì)點(diǎn)索引或恒速掃描。RL位移臺(tái)提供卓越的行程精度，平坦度和擺動(dòng)性能。

絕對(duì)值編碼器（可選）

絕對(duì)值編碼器提供明確的位置信息，從而可以立即確定位置。這意味著在接通過程中不需要引用，從而提高了操作過程中的效率和安全性。

應(yīng)用領(lǐng)域

光學(xué)對(duì)準(zhǔn)，晶圓檢查，晶圓對(duì)準(zhǔn)，測(cè)量技術(shù)，檢查系統(tǒng)，校準(zhǔn)，掃描。

由于無摩擦運(yùn)動(dòng)，不會(huì)形成任何顆粒，這使PIglide平臺(tái)成為潔凈室應(yīng)用的理想選擇。

三相轉(zhuǎn)矩電機(jī)

無刷

無槽

低齒槽轉(zhuǎn)矩

配件和選件

增量或絕對(duì)編碼器

真空饋通

在靜止?fàn)顟B(tài)下通過電磁預(yù)載自鎖

根據(jù)要求清除光圈

PIglide過濾器和空氣制備套件

單軸或多軸運(yùn)動(dòng)控制器和伺服驅(qū)動(dòng)器

多軸/自定義設(shè)置

用花崗巖制成的底板和減少振動(dòng)的系統(tǒng)

常用型號(hào)