瑞士INFICON分析儀TranspectorMPH

　　瑞士INFICON分析儀TranspectorMPH

 

 

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　　1、瑞士INFICON分析儀產品介紹

　　不斷上漲的硅晶片價格和成品需求意味著報廢晶片的成本比以往任何時候都高。因此，了解您的工藝并監(jiān)控缺陷已成為半導體制造中心的重中之重。Transpector MPH氣體分析系統(tǒng)旨在為您的所有氣體分析應用提供行業(yè)領先的性能，以幫助最大限度地提高芯片產量并最大限度地減少工具停機時間。結合較低的總體擁有成本和較高的平均故障間隔時間，Transpector MPH比市場上任何其他殘留氣體分析儀(RGA)更能幫助您實現(xiàn)盈利。INFICON利用其在氣體分析過程控制設備方面的專業(yè)知識，創(chuàng)建了具有行業(yè)領先數(shù)據(jù)收集速度、最小可檢測分壓和信噪比的RGA。所有這些都不會犧牲您對INFICON Transpector氣體分析儀所期望的任何可靠性。

　　2、瑞士INFICON分析儀產品概述

　　隨著制造技術的進步和質量標準的變化，了解您的過程和保持產品質量的需求比以往任何時候都更加重要。Transpector MPS可以通過監(jiān)控過程條件、檢測污染物和檢查泄漏來幫助您優(yōu)化過程。Transpector MPS以卓越的價值為他們的客戶提供Transpector品牌RGA的強大性能。Transpector MPS有100 amu和200 amu兩種版本，可讓您靈活地執(zhí)行各種功能，包括常規(guī)泄漏檢測、真空診斷和碳氫化合物分析。這種多功能性Transpector MPS成為真空爐、熱處理和真空鍍膜應用的首選傳感器。

　　3、瑞士INFICON分析儀產品特征

　　新型Transpector XPR 3+殘留氣體分析儀(RGA)提供行業(yè)領先的測量速度，以監(jiān)測和控制現(xiàn)代半導體和顯示器制造所需的快速過程變化。Transpector XPR 3+是現(xiàn)場漏氣、氣體純度、碳氫化合物和污染監(jiān)測的理想選擇。與定期上升率測試相比，使用Transpector XPR 3+進行實時測量可提供遠超卓著的產品保護。Transpector XPR 3+RGA是經過現(xiàn)場驗證的四極桿和雙離子源傳感器，適用于濺射壓力范圍應用。無需壓力轉換設備、使用壽命長的組件以及快速檢測和診斷問題的能力相結合，可最大限度地提高工具可用性、產品產量和產量。該傳感器可以從高真空到20 mTorr連續(xù)運行，無需泵。Transpector XPR 3+雙離子源腔室旨在限制涂層以保持離子源靈敏度并延長傳感器的平均維護時間。

　　4、瑞士INFICON分析儀產品原理

　　十多年來，INFICON Transpector CPM一直是半導體行業(yè)市場領先的殘留氣體分析儀(RGA)過程監(jiān)控系統(tǒng)?，F(xiàn)在Transpector CPM 3通過與新傳感器和電子設備集成的經過現(xiàn)場驗證的泵和入口系統(tǒng)提供行業(yè)領先的測量速度和靈敏度。Transpector CPM 3是適用于ALD、CVD、PVD和蝕刻等新型和成熟半導體工藝的理想RGA工藝監(jiān)控器。INFICON Transpector®單壓采樣(SPS)殘留氣體分析儀為目標高壓工藝提供最佳的半晶圓和顯示面板保護。Transpector SPS通過對單壓力應用最靈敏的漏氣和工藝污染檢測來最大限度地減少晶圓和面板廢料。它提供行業(yè)領先的檢測限和測量速度，以確保晶圓和面板的質量和數(shù)量。Transpector SPS通過為穩(wěn)定的高壓過程提供最可靠的過程監(jiān)控來最大化過程吞吐量和產量。

　　5、瑞士INFICON分析儀產品優(yōu)勢

　　儀器將簡單且經濟高效的入口系統(tǒng)與經過現(xiàn)場驗證的離子源和泵組相結合，提供低風險和高回報的氣體分析解決方案。適用于一般真空和工業(yè)應用，Transpector SPS是真空電弧重熔(VAR)等冶金和熱處理應用的成熟解決方案。Transpector SPS是可配置的，可以根據(jù)特定應用和預算進行定制。對于從1E-4 Torr到大氣壓的采樣過程壓力，可選擇標準孔板、毛細管和旁路管線組合。耐腐蝕的入口、離子源和泵組件專為在蝕刻、CVD、ALD和其他腐蝕性氣體工藝中的生存而設計。

　　6、瑞士INFICON分析儀部分產品型號

　　①瑞士INFICONTranspectorMPH

　?、谌鹗縄NFIConTranspector MPS

　　③瑞士INFIConTranspectorXPR 3+

　?、苋鹗縄NFIConTranspectorCPM 3

　?、萑鹗縄NFICONTranspectorSPS

　?、奕鹗縄NFICONTranspectorCPM

　　⑦瑞士INFIConQMG 700

　?、嗳鹗縄NFIConInficon Quantus LP100

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