品牌PI (Physik Instrumente) | 有效期至長(zhǎng)期有效 | 最后更新2021-09-13 16:34 |
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P-587 六軸精密壓電平臺(tái)
譚晶 QQ:2853369887 手機(jī):18518172492 電話:010-64717020-116 傳真:010-84786709-666 郵件:sales9@handelsen.cn |
長(zhǎng)行程,直接位置測(cè)量
§ 用于X、Y、Z、θX、θY、θZ向上的定位和 掃描
§ 線性行程為800 微米×800 微米×200 微米
§ 最大旋轉(zhuǎn)角度達(dá)1微弧度
§ 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)時(shí)間和更高的 多軸精度
§ 電容式傳感器帶來(lái)最高線性度
§ PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽 命
§ 零間隙,高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)
§ 六 自由度主動(dòng)補(bǔ)償
· 干涉測(cè)量
· 計(jì)量
· 納米壓印
· 半導(dǎo)體測(cè)試
· 半導(dǎo)體制造
電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量,且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。
機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲(chǔ)在機(jī)械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動(dòng)時(shí),數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能就會(huì)使用這些數(shù)據(jù)。
壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無(wú)需潤(rùn)滑劑或潤(rùn)滑脂。無(wú)聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。
專利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮,避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動(dòng)器長(zhǎng)達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無(wú)故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。
柔性鉸鏈導(dǎo)向無(wú)需維護(hù)、無(wú)摩擦、無(wú)磨損,無(wú)需潤(rùn)滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力,且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容,可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。
運(yùn)動(dòng)直接在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上測(cè)量,完全不受驅(qū)動(dòng)或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實(shí)現(xiàn)最佳的重復(fù)精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)控制。
訂購(gòu)信息
P-587.6CD
帶長(zhǎng)行程的六軸納米定位系統(tǒng),800微米 × 800微米 × 200微米,±0.5毫弧度,平行計(jì)量,電容傳感器
我們的優(yōu)勢(shì):
1)渠道廣泛,國(guó)內(nèi)有代理,或者有客戶保護(hù)廠家不賣(mài)的產(chǎn)品,只要您能提供型號(hào),我們同樣可以從德國(guó)的分銷(xiāo)商來(lái)采購(gòu)。
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