PI (Physik Instrumente)壓電掃描儀P-363

PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀

用于掃描探針顯微鏡的高動(dòng)態(tài)納米定位系統(tǒng)

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P-363

§ 用于AFM / SPM的超高性能閉環(huán)掃描儀

§ 用于生物/納米技術(shù)的緊湊型操縱工具

§ 諧振頻率9.8千赫茲

§ 電容式傳感器可實(shí)現(xiàn)最高精度

§ 并聯(lián)測(cè)量技術(shù)可實(shí)現(xiàn)導(dǎo)向誤差的自動(dòng)化 補(bǔ)償

§ 分辨率50皮米

§ 行程5微米×5微米×5微米

§ 真空兼容版本

應(yīng)用領(lǐng)域

§ 掃描探針顯微鏡

§ 原子力顯微鏡

§ 掃描和篩選

帶電容式傳感器，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量，且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來(lái)高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無(wú)需維護(hù)、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤(rùn)滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。 它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

自動(dòng)配置和快速部件更換

機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲(chǔ)在機(jī)械部件的SubD連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動(dòng)時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能就會(huì)使用這些數(shù)據(jù)。

并聯(lián)位置測(cè)量實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的高跟蹤精度

各自由度均相對(duì)于單一固定參考進(jìn)行了測(cè)量。對(duì)其他軸的不良運(yùn)動(dòng)串?dāng)_均可得到實(shí)時(shí)主動(dòng)補(bǔ)償（取決于帶寬）（主動(dòng) 導(dǎo)向）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達(dá)納米級(jí)。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無(wú)需潤(rùn)滑劑或潤(rùn)滑脂。無(wú)聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可 實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。

訂購(gòu)信息

P-363.2CD

PicoCube高精度XY向納米定位系統(tǒng)，5微米 × 5微米，平行計(jì)量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-363.2CL

PicoCube高精度XY向納米定位系統(tǒng)，5微米 × 5微米，平行計(jì)量，電容傳感器，LEMO連接器

P-363.3CD

PicoCube高精度XYZ向納米定位系統(tǒng)，5微米 × 5微米 × 5微米，平行計(jì)量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-363.3CL PicoCube高精度XYZ向納米定位系統(tǒng)，5微米 × 5微米 × 5微米，平行計(jì)量，電容傳感器，LEMO連接器

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