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| 品牌PI (Physik Instrumente) | 有效期至長(zhǎng)期有效 | 最后更新2021-09-13 15:34 |
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P-517 • P-527 多軸壓電陶瓷掃描儀
| 譚晶 QQ：2853369887 手機(jī)：18518172492 電話(huà)：010-64717020-116 傳真：010-84786709-666 郵件：sales9@handelsen.cn |
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高動(dòng)態(tài)納米定位器/帶直接位置測(cè)量的掃描器
§ 2軸和3軸版本（XY和XYθZ型）
§ 行程達(dá)200 微米
§ 亞納米級(jí)分辨率
· 計(jì)量
· 干涉測(cè)量
· 光子學(xué)/集成光學(xué)
· 平版印刷術(shù)
· 納米定位
· 掃描顯微鏡
· 樣本對(duì)準(zhǔn)
· 微加工
電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量，且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。
機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲(chǔ)在機(jī)械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動(dòng)時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能就會(huì)使用這些數(shù)據(jù)。
專(zhuān)利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動(dòng)器長(zhǎng)達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無(wú)故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。
柔性鉸鏈導(dǎo)向無(wú)需維護(hù)、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤(rùn)滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。
各自由度均相對(duì)于單一固定參考進(jìn)行了測(cè)量。對(duì)其他軸的不良運(yùn)動(dòng)串?dāng)_均可得到實(shí)時(shí)主動(dòng)補(bǔ)償（取決于帶寬）（主動(dòng)導(dǎo)向）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達(dá)納米級(jí)。
訂購(gòu)信息
P-517.2CL
精密XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100微米，電容傳感器，平行計(jì)量，LEMO連接器
P-517.2CD
精密XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100微米，電容傳感器，平行計(jì)量，Sub-D連接器
P-527.2CL
精密XY向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米，電容傳感器，平行計(jì)量，LEMO連接器
P-527.2CD
精密XY向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米，電容傳感器，平行計(jì)量，Sub-D連接器
P-517.3CL
精密XYZ向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米 × 20 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計(jì)量
P-517.3CD
精密XYZ向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米 × 20 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計(jì)量
P-527.3CL
精密XYZ向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米 × 20 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計(jì)量
P-527.3CD
精密XYZ向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米 × 20 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計(jì)量
P-517.RCD
精密XY向/旋轉(zhuǎn)納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米，2 毫弧度，電容傳感器，平行計(jì)量，Sub-D連接器
P-527.RCD
精密XY向/旋轉(zhuǎn)納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200 微米，4 毫弧度，電容傳感器，平行計(jì)量，Sub-D連接器
工作日
9:00-18:00
